Na lithografické výrobní lince víte, jak rychle může odchylka 0,5°C během pečení fotoresistu vychýlit řízení kritických rozměrů (CD) mimo...

Na výrobní lince se nečeká, až se trouba ustálí. Na stanici spin-dry leží wafer a udržuje stabilní podmínky, zatímco poslední kapky vlhkosti...