Hören Sie auf, die Wände der Maschine zu erhitzen – heizen Sie stattdessen die jeweiligen Komponenten direkt.
Wenn Sie schon einmal mit Halbleiterbauteilen gearbeitet haben, kennen Sie sicherlich das Problem der übermäßigen Hitzeentwicklung. Wenn man die Konvektionsheizung einschaltet, wirkt das gesamte Innere der Maschine wie ein riesiger Radiator. Die Außenwände werden extrem heiß – und man macht sich Sorgen, dass die empfindlichen Elektronikkomponenten dadurch beschädigt werden könnten.
Das ist wirklich ärgerlich. Deshalb haben wir auf eine solche allgemeine Heizung verzichtet und stattdessen direktes Infrarotlicht verwendet.
Wie es eigentlich funktioniert
Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – statt das ganze Raumklima zu erwärmen, senden Infrarotlampen elektromagnetische Strahlung direkt auf den zu bearbeitenden Gegenstand. Die Energie trifft auf die Wafer oder Substrate – mehr nicht. Die umgebende Luft bleibt relativ kühl, und die Wände der Maschine fungieren nicht mehr als Wärmequellen. So erhalten Sie genau die Temperatur, die Sie benötigen – ohne dass die Maschine zu einem „Ofen“ wird.
Praktische Anwendung
Der Schlüssel liegt in der richtigen Anordnung der Lampen. Wo man sie platziert, bestimmt, wohin die Wärme gelangt. Wir verwenden Reflektoren, um die Energie in einen schmalen Strahl zu bündeln – dadurch entsteht kein „heiße Wand“-Effekt mehr.
Das macht die Arbeit für alle viel einfacher: Die Mitarbeiter werden beim Warten nicht verbrannt, und das Lüftungssystem muss nicht überlastet werden, um der Hitze entgegenzuwirken.
Nachteile (denn nichts ist perfekt)
Direktes Infrarotlicht ist zwar präzise, doch es kann dazu führen, dass es kühle Stellen gibt. Wenn die Komponente eine ungewöhnliche Form oder komplexe Geometrie hat, kann eine einzelne Lampe nicht alle Stellen erreichen. Um das zu beheben, braucht man mehrere Lampen oder ein System, das die Komponente dreht.
Achten Sie außerdem auf die Lampen selbst – sie halten nicht ewig. Wenn man den Leistungseinbruch im Laufe der Zeit nicht überwacht, kann der Prozess aus dem Gleichgewicht geraten. Doch ehrlich gesagt: Der Aufwand lohnt sich. Man erreicht die gewünschten Temperaturen viel schneller als mit herkömmlichen Heizern. Zudem wird das Innere der Maschine geschützt.