Warum wir auf Infrarot-Härtung umsteigen
Haben Sie schon einmal versucht, einen ganzen Raum zu erhitzen, nur um eine Tasse Kaffee zu erwärmen? Das ist im Grunde genau das, was die herkömmlichen Konvektionsöfen in Halbleiterfabriken tun – sie erhitzen die Luft, und diese wiederum erwärmt die Wafer. Das ist langsam, unpraktisch und außerdem energieverbrauchend.
Unsere UHP-Lampen funktionieren anders. Sie nutzen kurzwelliges Infrarotlicht, um Energie direkt in das Material zu leiten. Es gibt keinen Vermittler – man muss nicht warten, bis die Luft heiß wird. Das bedeutet eine völlig neue Art der Härtung. Deshalb geben viele Betriebe diese riesigen thermischen Tunnel auf.
Reinigung des Prozesses
Lange Zeit musste man zur Trocknung oder Härtung von Materialien auf schädliche chemische Lösungsmittel oder Katalysatoren zurückgreifen. Diese Methoden funktionierten zwar, doch sie stießen giftige Gase aus, die niemand einatmen möchte.
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie sofort die gewünschte Temperatur erreichen. Da die Wärme so präzise kontrolliert wird, muss man sich keine Sorgen machen, dass die Substrate beschädigt werden. Dadurch kann man auf diese gefährlichen Stabilisatoren verzichten. Keine VOCs, kein Blei – einfach ein sauberer Prozess, der auch die Umweltschützer zufriedenstellt.
Leistung und Effizienz
Der Vorteil liegt darin, dass die Infrarot-Härtung nach Bedarf erfolgt. Man schaltet einfach den Schalter ein – schon ist die volle Leistung verfügbar. Im Vergleich dazu braucht ein Konvektionsofen Stunden, um warm zu werden. Man heizt nur das Produkt auf – dadurch bleibt die Energiekosten niedrig.
Um alles sauber zu halten, verwenden wir Quarzkapseln hoher Reinheit. So gelangen keine Metallionen ins Material und zerstören die Wafer. Achtung: Diese Lampen sind sehr leistungsstark. Die Leistungsdichte ist hoch – daher sollten die Transformatoren in der Lage sein, diesen Anstieg der Leistung zu bewältigen. Man möchte schließlich nicht jedes Mal die Stromschutzeinrichtungen auslösen, wenn man die Produktion erhöht.
Der „einfache“ Aspekt
Niemand möchte ein Wochenende damit verbringen, eine Anlage neu zusammenzubauen. Deshalb haben wir diese Lampen so konzipiert, dass sie einfach ersetzt werden können. Wir halten die Toleranzen eng, damit man eine defekte Lampe sofort austauschen und wieder arbeiten kann.
Außerdem bleibt der Rest der Maschine relativ kühl, da die Wärme durch Strahlung übertragen wird. Die Dichtungen werden nicht beschädigt, die Verkabelung bleibt flexibel – und die Ausrüstung hält länger. Man verbringt weniger Zeit mit lästigen Reparaturen und mehr Zeit damit, Wafer zu liefern.