Canon Lithographie Heizungslampe

Sun, 07 Jun 2026 04:02:10 +0800

Auf dem Lithographie-Floor ist bekannt, wie schnell eine Drift von 0,5 °C während des Photoresist-Backvorgangs die Kontrolle der kritischen Abmessungen (CD) aus der Toleranz bringen kann. Die Canon Lithographie-Heizlampe ist darauf ausgelegt, das thermische Verhalten durchgehend innerhalb des Prozessfensters zu halten – Schicht für Schicht.

Was unter der Haube zählt
Sie verwendet kurzwellige Infrarot-(IR-)Halogenstrahler in einer Quarzhülle, was eine schnelle, direkte Strahlungswärme mit geringer thermischer Trägheit ermöglicht. Über die gesamte Backzone bleibt die Wafer-Ebenen-Uniformität bei ±0,1 °C, und die Temperaturwiederholbarkeit liegt von Charge zu Charge innerhalb von ±0,2 °C. Die Konstruktion ist kompatibel mit Reinraumklassen 1–100, und Materialien sowie Anschlüsse sind so ausgewählt, dass Partikelerzeugung und Ausgasung minimiert werden. Die Ausgangsstabilität ist auf ±2 % über mehr als 5.000 Stunden spezifiziert, was längere Campaigns ohne Nachkalibrierungen ermöglicht.

Glühbirne on Quartz Infrared Heating Source

Canon Lithographie Heizungslampe