http://quartz-ir-heat.com/de/tags/python/ Recent content in ```Python on Quartz Infrared Heating Source Hugo de Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/de/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/de/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Temperatursensor für Wafer Werkzeug"></p> <p>Auf der Fertigungsebene ist eine <a href="https://o-yate.com">Abweichung</a> von 0,5°C während des Photoresist-Backens nicht nur eine CD-Änderung. Es steht viel auf dem Spiel. Wafer-Werkzeuge laufen 7×24 Stunden, und thermische Instabilität kumuliert schnell, verbraucht thermisches Budget und erzwingt Nacharbeit. Sie benötigen einen Temperatursensor, bei dem Wiederholgenauigkeit eine Spezifikation ist, kein Diskussionspunkt.</p> <p><strong>Technisch relevant</strong> Wir haben diesen Sensor für Wafer-Werkzeuge im Hinblick auf eine waferbezogene thermische Gleichmäßigkeit von ±0,1°C entwickelt, sodass jeder Softbake und Hardbake das gleiche thermische Profil einhält – Charge für Charge. Er eignet sich für Reinraumklassen 1–100 und produziert keine Partikel, sodass keine Ertragsverluste durch Kontamination entstehen. Er läuft kontinuierlich ohne ungeplante Ausfälle, und die Lebensdauer ist so lang, dass Austauschzyklen planbar bleiben. Der Nutzen ist ein stabiler Prozessfenster und eine reproduzierbare Lithographie-Performance.</p>