Reflektor on Quartz Infrared Heating Source

Reflektor für Wafer Aushärtungslampe

Thu, 23 Jul 2026 12:16:04 +0800

Die Probleme verhindern: Umgang mit defekten Lampen bei der Härtung von Wafern
Seien wir ehrlich: Wenn eine Lampe in einem System mit hohem Belastungsgrad defekt geht, ist das ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten oder die störenden Alarmanzeigen – es geht auch um den Schmutz, der entsteht.
Wenn eine Quarztube zerbricht, fallen Glasstücke sowie Halogengas direkt auf die Wafern. Das führt zu einer Kontamination der Wafern. Deshalb haben wir unsere Reflektorstrukturen so konstruiert, dass sie als physischer Schutz dienen.

Aluminiumreflektor für Infrarotlampe

Mon, 20 Jul 2026 11:41:40 +0800

Die Wafer sauber halten: Warum die Konstruktion der Infrarotlampen wirklich wichtig ist
In einer Produktionsstätte mit hoher Auslastung ist ein Defekt der Lampe nicht nur ein technisches Problem – es handelt sich dabei um ein echtes Desaster. Stellen Sie sich vor, eine Infrarotlampe platzt direkt über einem Siliziumwafer. Dann fallen Glasscherben sowie Halogengas herab – plötzlich muss man mit sekundären Kontaminationen umgehen, die dazu führen können, dass ganze Chargen von Wafern unbrauchbar werden. Das ist ein echtes Chaos. Wir konstruieren unsere Heizsysteme genau so, dass so etwas nicht passieren kann – indem wir intelligente Konstruktionen sowie hochreines Aluminium verwenden.

Infrarotlampe mit Goldreflektor

Thu, 09 Jul 2026 03:19:02 +0800

Wir haben diese Infrarotlampe mit einem vergoldeten Reflektor entwickelt – aus einem einfachen Grund: Damit jede einzelne Wattstunde Strom in nutzbare Wärme umgewandelt wird. In der Waferfertigung gibt es keinen Platz für Wärme, die sonst abdriftet. Es ist daher notwendig, dass die Energie gezielt eingesetzt wird – und genau das leistet der vergoldete Reflektor.

Im Inneren befindet sich ein hochleistungsstarkes Halogenelement, das in einer Quarzkapsel untergebracht ist. Die Form dieser Kapsel ist nicht zufällig – sie wurde absichtlich so gewählt. Die Geometrie des Reflektors sowie die Länge des Tubus sorgen dafür, dass die Wärme genau dort konzentriert wird, wo sie benötigt wird. So kann man präzise auf den Prozess eingreifen, ohne Überschreitungen.