Sensor on Quartz Infrared Heating Source

Präziser IR Sensor für Wafern

Wed, 22 Jul 2026 05:06:18 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizlampen Ihre Wafer beschädigen!
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses Problem nur zu gut. Ein einziger Staubkorn – etwas, das man nicht einmal sehen kann – kann dazu führen, dass ganze Chargen von Wafern unbrauchbar werden. Das ist frustrierend.

Das Problem liegt oft bei herkömmlichen IR-Lampen. Sie geben Gase ab oder lösen mikroskopisch kleine Partikel aus ihrem Gehäuse aus – im Grunde handelt es sich dabei um „kleine Staubfabriken“, genau dort, wo man sie am wenigsten gebrauchen kann.

Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern

Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800

Wie man MEMS-Chips trocknet – ohne Probleme
Das Trocknen von MEMS-Sensorchips erfordert einiges an Geschick. Man muss das Wasser schnell entfernen – doch wenn man zu aggressiv vorgeht, besteht die Gefahr von thermischen Belastungen oder übrig bleibenden Rückständen.

Unser Trick besteht darin, Infrarotheizungen in Kombination mit reflektierenden Oberflächen aus Gold zu verwenden. Das klingt zwar kompliziert, aber im Grunde geht es darum, sicherzustellen, dass die Wärme tatsächlich auf den Chip trifft – und nicht nur den Inneren der Maschine erwärmt.

Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlung

Sat, 18 Jul 2026 04:22:21 +0800

Die Wärme an den richtigen Ort bringen

Die meisten Infrarotheizsysteme sind einfach nur unpraktisch – sie verteilen die Energie überallhin. Wenn man mit der Verpackung von Sensoren arbeitet – insbesondere auf der Wafer-Ebene – möchte man nicht, dass der Gehäusekörper der Maschine all diese Wärme aufnimmt. Die Wärme sollte vielmehr direkt auf das Silizium gelangen. Punkt.

Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind. Das ist im Grunde eine Möglichkeit, Energieverschwendung zu vermeiden und die Energie gezielt zu lenken.

Hersteller von Heizungen für Wasserstoff Sensoren

Sat, 11 Jul 2026 09:09:21 +0800

Die Aufrechterhaltung der Reinheit: Die Realität der Sensorenheizung
Bei der Herstellung von Wasserstoffsensoren kann bereits ein einziger Staubkorn oder eine kleine Menge Gas, die durch einen Undichtpunkt entweicht, dazu führen, dass ganze Chargen unbrauchbar werden. Das ist frustrierend – ein kleiner Fehler bedeutet Stunden voller Arbeit, die umsonst waren.

Deshalb denken wir bei der Herstellung von Infrarotheizungen für solche Zwecke nicht nur an die Temperatur, sondern auch an die Reinheit.

Quarz – der Schlüssel zur Qualität
Wir verwenden für unsere Lampen hochreinen synthetischen Quarz. Warum? Weil herkömmliches Glas oder billige Materialien beim Erhitzen zu Partikeln zerfallen können. Niemand möchte, dass mikroskopisch kleine Teilchen auf das Sensorsubstrat fallen, während dieses aushärtet. Wir bearbeiten unsere Rohre so, dass keine Partikel mehr auf der Oberfläche zurückbleiben.

Temperatursensor für Wafer Werkzeug

Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800

Auf der Fertigungsebene ist eine Abweichung von 0,5°C während des Photoresist-Backens nicht nur eine CD-Änderung. Es steht viel auf dem Spiel. Wafer-Werkzeuge laufen 7×24 Stunden, und thermische Instabilität kumuliert schnell, verbraucht thermisches Budget und erzwingt Nacharbeit. Sie benötigen einen Temperatursensor, bei dem Wiederholgenauigkeit eine Spezifikation ist, kein Diskussionspunkt.

Technisch relevant Wir haben diesen Sensor für Wafer-Werkzeuge im Hinblick auf eine waferbezogene thermische Gleichmäßigkeit von ±0,1°C entwickelt, sodass jeder Softbake und Hardbake das gleiche thermische Profil einhält – Charge für Charge. Er eignet sich für Reinraumklassen 1–100 und produziert keine Partikel, sodass keine Ertragsverluste durch Kontamination entstehen. Er läuft kontinuierlich ohne ungeplante Ausfälle, und die Lebensdauer ist so lang, dass Austauschzyklen planbar bleiben. Der Nutzen ist ein stabiler Prozessfenster und eine reproduzierbare Lithographie-Performance.