Herstellung von Heizgehäusen aus Edelstahl

Tue, 21 Jul 2026 09:31:46 +0800

Vermeiden Sie übermäßige Hitzeentwicklung: Eine intelligente Lösung zum Heizen von Halbleiterwerkzeugen
Die meisten Heizelemente sind etwas chaotisch im Umgang mit Energie – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab, also in 360 Grad. In engen Räumen wie in Halbleiterwerkzeugen ist das ein Problem. Wenn die Wärme in die Wände des Geräts dringt, entstehen „heiße Stellen“, die dazu führen können, dass Mitarbeiter verbrannt werden oder dass Sensoren unnötigerweise ausfallen.

Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir Kurzwellinfrarotlampen mit speziell angefertigten Gehäusen aus Edelstahl kombiniert haben.
So funktioniert es eigentlich:
Betrachten Sie das Gehäuse als Spiegel. Wir verwenden poliertes Edelstahlmaterial, um einen parabolischen Reflektor zu erstellen. Anstatt dass die Wärme in den Rahmen des Geräts eindringt, wird die Infrarotenergie direkt auf das Wafer oder Substrat gerichtet. Dadurch wird die Wärme genau dort freigesetzt, wo sie benötigt wird. Das Ergebnis: Die Aufwärmzeit verkürzt sich, und der Innenraum des Geräts bleibt viel kühler.

Stahl on Quartz Infrared Heating Source

Herstellung von Heizgehäusen aus Edelstahl