http://quartz-ir-heat.com/de/tags/thermoelement/ Recent content in Thermoelement on Quartz Infrared Heating Source Hugo de Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/de/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/de/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Wärmelehre für Halbleiterheizer"></p> <p>Im Produktionsbetrieb ist das thermische Budget keine Empfehlung – es handelt sich dabei um eine Grenze, die unbedingt eingehalten werden muss. Ein paar Grad Unterschied während der Verarbeitung des Photoresists führen dazu, dass die kritischen Abmessungen nach dem Ätzen verändert werden. Dadurch leidet sofort die Produktivität. Deshalb haben wir einen Thermoelement für die Halbleiterheizer entwickelt, um diese Unsicherheiten in jedem Trocknungsprozess auszuschließen.</p> <p>Technisch gesehen ist es wichtig, dass das Thermoelement perfekt zur Geometrie des Heizers passt. Dadurch wird eine thermische Homogenität auf Waferniveau von ±0,1 °C erreicht. Der Sensor ist für Reinraumklassen 1–100 geeignet; die verwendeten Materialien sorgen dafür, dass Gasentwicklung und Partikelbildung minimiert werden.</p>