Wie man MEMS-Chips trocknet – ohne Probleme Das Trocknen von MEMS-Sensorchips erfordert einiges an Geschick. Man muss das Wasser schnell entfernen –...

On the fab floor kann bereits eine Abweichung von nur einem halben Grad beim Soft Bake die kritische Dimensionskontrolle beeinträchtigen und nach der...