Infrarotheizer für Vakuumkammern

Fri, 17 Jul 2026 07:44:50 +0800

Die richtige Temperatur in der Vakuumkammer einstellen
Wenn Sie eine moderne Fertigungsanlage bauen, wissen Sie vermutlich, dass thermische Energie ein echtes Problem darstellt. Sobald die Luft aus der Vakuumkammer entfernt wird, verschwindet die Konvektion – es bleibt nur noch die Strahlung als Wärmequelle übrig.

Deshalb kommen Infrarot-Systeme zum Einsatz. Anstatt gegen das Vakuum anzukämpfen, arbeiten diese Systeme mit ihm zusammen – sie strahlen Energie direkt auf das Ziel ab, ohne Zwischenmittel zu benötigen.

Kein Raten mehr bezüglich der Temperatur
Wir alle kennen die herkömmlichen Widerstandsheizungen. Das Problem: Sie reagieren sehr langsam. Es dauert Ewigkeiten, bis sie auf Temperatur kommen – und genauso lange, bis sie wieder abkühlen. Wenn man versucht, einen PID-Regler zu nutzen, ist diese Verzögerung ein Albtraum. Dadurch werden die Daten ungenau, und der gesamte Prozess wirkt wie das Steuern eines Schiffes mit einem kaputten Ruder.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Fri, 17 Jul 2026 07:34:37 +0800

Hören Sie auf, Zeit zu verschwenden: Warum Vakuum-Infrarotheizungen sinnvoll sind
Wenn Sie bereits Erfahrung im Halbleiterherstellungsprozess haben, wissen Sie, wie das abläuft: Man muss warten – darauf, dass die Bauteile erwärmen oder abkühlen. Lange Zeit haben wir dazu gezwungene Luftströme verwendet. Doch der Einsatz von vakuumkompatiblen Infrarotheizern verändert den gesamten Ablauf des Prozesses.

Es kommt letztendlich darauf an, wie die Wärme zum Wafer gelangt. Die Konvektion durch Luft ist wie das Erhitzen eines Raumes mit einem Ventilator – es dauert ewig, denn die Luft muss die Energie transportieren. In einer Umgebung mit hohem Vakuum gibt es keine Luft mehr. Man kann nichts bewegen, was nicht vorhanden ist. Infrarotheizungen umgehen diesen Umweg: Sie senden elektromagnetische Strahlung direkt auf das Zielobjekt.

Vakuum on Quartz Infrared Heating Source

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer