Mantener una sala limpia de clase 100 realmente limpia
Si calienta obleas de silicio en un entorno de clase 100, ya sabe cuán problemático puede ser eso. Un solo grano de polvo o pequeña cantidad de gases liberados pueden arruinar todo el lote. Es frustrante. La mayoría de los elementos calefactores convencionales no están diseñados para este tipo de condiciones; se desgastan fácilmente y arruinan la calidad del producto.
Por eso utilizamos cuarzo sintético de alta pureza en nuestras lámparas de infrarrojos.
Por qué es importante el cuarzo
Utilizamos sílice fundida. Es extremadamente pura, lo que significa que no hay riesgo de que los iones metálicos se liberen cuando el material se calienta. El vidrio convencional o los materiales baratos no resisten las tensiones térmicas y se dañan. Nuestro material, en cambio, permanece sólido. Esto permite que la radiación infrarroja de onda corta llegue directamente a la superficie de la oblea. Así obtiene el calor necesario, y la lámpara no interfiere con el proceso. Sin contaminación, sin problemas.
Elegir la distancia adecuada
La distancia entre la lámpara y la oblea es un punto importante. Si está demasiado cerca, se generan puntos calientes, o incluso contacto físico entre ellos. Si está demasiado lejos, la densidad de calor disminuye y todo se ralentiza. Pasamos mucho tiempo calibrando la distancia focal para que el calor se distribuya uniformemente por toda la oblea.
Pero hay algo más importante: debe controlar la densidad de potencia. Las lámparas de alta potencia generan mucha energía. Eso es bueno para acelerar el proceso, pero también exige un gran esfuerzo del sistema de refrigeración. Si aumenta la potencia para acortar los tiempos de procesamiento, asegúrese de que los sistemas de refrigeración puedan manejar ese calor. No quiere que sus componentes electrónicos sensibles se dañen.
Detalles importantes en la instalación
Hemos diseñado estas lámparas de modo que sean fáciles de reemplazar. Cuando sea necesario sustituir algún componente, podrá volver a operar rápidamente. También hemos reforzado las conexiones para evitar que las vibraciones suelten partículas. Pero recuerde: la lámpara es solo la mitad de la solución. Revise los soportes de montaje. Si utilizan pintura que se desprende y entra en la cámara de procesamiento, ni siquiera el cuarzo más puro podrá salvar su lote. Asegúrese de que los soportes no suelten partículas, y todo estará bien.