در کارخانههای تولید، تغییر دمای محفظه در حدود ۰.۵ درجه سانتیگراد، میتواند به طور ناخودآگاه منجر به کاهش بازده تولید شود. ما این هیتر CVD را طوری طراحی کردهایم که در شرایطی که هر فرآیند تولید در مقیاس آنگستروم و درجه انجام میشود، بتواند عملکرد خوبی داشته باشد.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟
این هیتر، حرارت ماوراءبنفش کوتاهامواج را با یک عنصر پوشیده شده از کوارتز ترکیب میکند؛ به همین دلیل، یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. دما در کمتر از ۱۰ ثانیه به حالت تعادل میرسد، و تکرارپذیری عملکرد آن در هزاران چرخه، در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد باقی میماند.
سازگاری با اتاقهای پاک نیز یکی از ویژگیهای مهم این هیتر است. موادی که گاز کمی تولید میکنند، ساختاری که مطابق استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ است، و سطحی که مانع از افزایش تعداد ذرات میشود، همگی جزو ویژگیهای طراحی این هیتر هستند. عدم تولید هیچ ذرهای، یک الزام است؛ این موضوع از طریق نظارت لحظهای بررسی میشود.
چرا این هیتر در فرآیند تولید موفق عمل میکند؟
در فرآیند CVD، پایداری حرارتی، تأثیر زیادی بر ضخامت لایه، تنشها و تراکم نقصها دارد. این هیتر، میزان حرارت تولید شده را کنترل میکند؛ بنابراین فرآیندهای تولید به طور یکنواخت انجام میشوند. پاسخ سریع این هیتر، زمان بین چرخههای تولید را کاهش میدهد؛ همچنین، تنظیمات پایدار این هیتر، به فرآیندهای مربوطه کمک میکند، به ویژه در فرآیندهای مربوط به پختن فوتورزیست. پروفایلهای پخت ملایم و سخت نیز در محدوده استانداردها باقی میمانند؛ بنابراین نیاز به بازسازی کمتری وجود دارد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا حرارت در صورت نیاز تولید میشود و از اضافهحرارت جلوگیری میشود. این هیتر قادر است ۲۴ ساعته بدون توقف کار کند.
چه چیزهایی برای عملکرد صحیح این هیتر ضروری است؟
برای نصب صحیح این هیتر، باید محل قرارگیری آن در منطقه گرم محفظه به درستی تنظیم شود؛ همچنین، باید سیستم محافظتی RF/EMI نیز مناسب باشد. اگر این موارد به درستی انجام نشوند، ممکن است عدم یکنواختیهای کوچکی ایجاد شود که بعداً مشکلاتی را به همراه داشته باشد. برای تنظیم پارامترهای PID بر اساس ویژگیهای محفظه و جریان گاز، زمان کوتاهی لازم است؛ پس از آن، عملکرد هیتر قابل پیشبینی خواهد بود. اما باید رابطه حرارتی را به عنوان بخشی از فرآیند در نظر گرفت، نه یک مورد جانبی.