حفظ سالن تمیز کلاس ۱۰۰ در واقعیت، به معنای حفظ پاکیزگی آن است.
اگر در محیط کلاس ۱۰۰، ویفرهای سیلیکونی را گرم میکنید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. حتی یک تکه کوچک از ذرات یا گازهای ناخواسته میتواند باعث خراب شدن کل محصولات شود. این موضوع بسیار آزاردهنده است. اکثر عناصر گرمایشی استاندارد برای این منظور مناسب نیستند؛ زیرا آنها تجزیه میشوند و باعث خراب شدن محصولات میگردند.
به همین دلیل، ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز خود استفاده میکنیم.
چرا کوارتز مهم است؟
ما از سیلیکا مذاب استفاده میکنیم؛ این ماده بسیار خالص است، بنابراین نیازی نیست نگران نشت یونهای فلزی در هنگام گرم شدن ماده باشیم. شیشههای استاندارد یا مواد ارزانقیمت نمیتوانند در برابر فشار حرارتی مقاومت کنند؛ آنها تجزیه میشوند.
ماده ما در حالت جامد باقی میماند؛ این امر امکان میدهد تا تشعشعات مادون قرمز مستقیماً به سطح ویفر برخورد کنند. به این ترتیب، گرمای لازم دریافت میشود و لامپ نیز مانعی برای انتقال گرما ایجاد نمیکند. هیچ آلودگی وجود ندارد، و مشکلی پیش نمیآید.
تنظیم فاصله مناسب
فاصله بین لامپ و ویفر، نقطهای است که کار را پیچیده میکند.
اگر فاصله خیلی کم باشد، نقاط داغ ایجاد میشود؛ یا حتی تماس فیزیکی بین لامپ و ویفر رخ میدهد. اگر فاصله خیلی زیاد باشد، چگالی گرما کاهش مییابد و کل فرآیند کند میشود. ما زمان زیادی را صرف تنظیم فاصله مناسب برای انتشار یکنواخت گرما در سراسر ویفر میکنیم.
اما نکته مهم این است که به چگالی انرژی لامپ نیز توجه کنید. لامپهایی که توان بالایی دارند، انرژی زیادی تولید میکنند؛ این موضوع برای سرعت عمل خوب است، اما فشار زیادی بر سیستم تهویه ورود میکند. اگر برای کاهش زمان فرآیند، توان لامپ را افزایش دهید، مطمئن شوید که سیستم تهویه قادر به خنک کردن این گرما باشد. نمیخواهید که الکترونیکهای حساس شما در معرض گرما قرار بگیرند.
جزئیات نصب
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که تعویض آنها آسان باشد. وقتی که یک قطعه نیاز به تعویض داشت، میخواهیم به سرعت دوباره فرآیند را ادامه دهیم.
همچنین، اتصالات لامپها را محکم کردهایم تا از لرزشهایی که میتواند باعث رها شدن ذرات شود، جلوگیری شود. اما به یاد داشته باشید که لامپ تنها نیمی از مشکلات را حل میکند؛ باید به براکتهای نصب لامپ نیز توجه کنید. اگر از رنگی استفاده شده که در محیط فرآیند رها شود، حتی خالصترین کوارتز نیز نمیتواند محصولات شما را نجات دهد. مطمئن شوید که براکتهای نصب لامپ، ذراتی را رها نکنند؛ در این صورت، همه چیز خوب خواهد بود.