لامپی که در ساعت ۰۳:۰۰ از کار میافتد، باعث قطع فعالیت دستگاه میشود. ویفرها در کنار هم تجمع میکنند، پروفایلهای حرارتی تغییر میکنند و بازدهی دستگاه کاهش مییابد. ما لامپهای نیمههادی خود را طوری طراحی کردهایم که از وقوع این مشکلات جلوگیری شود.
آنچه واقعاً اهمیت دارد…
لامپهای هالوژنی و مادونقرمز کوتاهامواج ما، یکنواختی حرارتی روی سطح ویفرها را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنند؛ بنابراین پروفایلهای حرارتی دستگاه تغییر نمیکنند. این لامپها در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ به خوبی کار میکنند، هیچ ذرهای تولید نمیکنند و توان خروجی آنها برای بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت پایدار است. این لامپها باعث ایجاد پروفایلهای حرارتی قابل پیشبینی، کنترل دقیق طیفی، و عدم وجود توقفات غیرمنتظره در فرآیندهای ۷×۲۴ ساعته میشوند. نتیجه، کنترل قابل پیشبینی حرارتی و کنترل دقیق ابعاد کلیدی است.
در دستگاههای لیتوگرافی، نیاز به پایداری حرارتی وجود دارد؛ این لامپها مقدار حرارتی مورد نیاز را در هر بار استفاده حفظ میکنند؛ بنابراین پروفایلهای حرارتی دستگاه از ساعتی به ساعت دیگر تغییر نمیکنند. این قابلیت تکرارپذیری، باعث کاهش مواد بیکاربرد، کاهش کارهای تکراری، و کوتاه شدن چرخههای آزمایشی میشود. کارایی این لامپها با استفاده از بازتابندههای با کارایی بالا و کنترل طیفی، بهبود مییابد؛ همچنین عمر طولانی این لامپها باعث کاهش نیاز به تعویض آنها و کاهش تعداد قطعات یدکی مورد نیاز میشود.
نکته مهم در نصب این لامپها این است که برای حفظ یکنواختی حرارتی، به سوکتهای مناسب و سیستمهای خنککننده کنترلشده نیاز است. باید زمان مناسبی برای تنظیمات اولیه در نظر گرفت تا ژئومتری لامپ و صفحه کار با سیستم حرارتی دستگاه هماهنگ شود. پس از تنظیم این ژئومتری، فرآیند کاری دستگاه پایدار خواهد ماند؛ اما این تنظیمات اولیه ضروری است تا یکنواختی حرارتی به بهترین شکل حفظ شود.