چرا لامپهای مادون قرمز در مرحله شستشو بهتر از هوای گرم عمل میکنند؟
اگر تجربه کار در فرآیندهای تولید نیمههادی را داشته باشید، میدانید که مرحله شستشو معمولاً زمانی است که سرعت کار کاهش مییابد؛ این مرحله، یک مانع اصلی در فرآیند تولید است.
سالهاست که از روش هوای گرم برای شستشو استفاده کردهایم؛ اما مشکل اینجاست که باید کل حجم هوای موجود در محفظه را گرم کرد، تا ویفر بتواند تغییر دما را احساس کند. این روش کند و پرزحمت است.
به همین دلیل، ما به سمت استفاده از لامپهای مادون قرمز روی آوردهایم؛ این لامپها این تأخیر ناخوشایند را از بین میبرند.
انتظار، بدترین بخش کار است
هوای گرم دارای چیزی است که مهندسان آن را «ضریب انرژی حرارتی» مینامند؛ به عبارت ساده، هوای گرم مدت زمان زیادی طول میکشد تا شروع به حرکت کند. در واقع، باید منتظر بمانید تا دمای محفظه به مقدار مشخصی برسد.
لامپهای مادون قرمز چنین رفتاری ندارند؛ آنها تشعشعات الکترومغناطیسی را مستقیماً به سطح ویفر ارسال میکنند. انتقال حرارت در این روش تقریباً بلافاصله اتفاق میافتد.
برای کسی که کارخانه را مدیریت میکند، این بدان معناست که زمان لازم برای انجام کار کاهش مییابد؛ همچنین نیازی به استفاده از تجهیزات بزرگی که نیمی از فضای کارخانه را اشغال کنند، نیست.
جلوگیری از ورود آب
قرار دادن لامپ در منطقه شستشو، میتواند باعث ایجاد مشکلاتی شود؛ زیرا رطوبت دشمن اصلی این فرآیند است.
برای جلوگیری از این مشکل، از غلافهای کوارتزی و درپوشهای محکم استفاده میکنیم؛ این روش باعث میشود آب در جای خود باقی بماند. لامپهای معمولی در مواجهه با این شوک حرارتی خراب میشوند؛ اما این لامپها، رشتههای الکتریکی را در حالت ایمن و خشک نگه میدارند.
معایب این روش (چون همیشه معایبی وجود دارد)
لامپهای مادون قرمز سریع عمل میکنند، اما سلیقهای هستند؛ یعنی فقط آن بخشهایی را گرم میکنند که میتوانند آنها را ببینند. اگر لامپها در موقعیت مناسبی قرار نگیرند، نقاط سردی در ویفر ایجاد خواهد شد و خشک شدن ویفر ناهموار خواهد بود.
همچنین باید مطمئن شوید که منابع تغذیه مورد نیاز برای این فرآیند، قادر به تحمل چرخههای سریع باشند. چون چگالی حرارتی بالاست، تجهیزات باید بتوانند این فشار را تحمل کنند.
تأثیر این روش بر سرعت تولید
در نهایت، استفاده از لامپهای مادون قرمز، مربوط به مشخصات فنی پیچیده نیست؛ بلکه مربوط به صرفهجویی در زمان است.
زمان لازم برای گرم شدن تجهیزات، از دقایق به ثوانی کاهش مییابد؛ این موضوع، برای توسعه تولید، یک مزیت بزرگ است. این روش، کل فرآیند را بهتر و کمتر آزاردهنده میکند.