http://quartz-ir-heat.com/fa/tags/%D8%AC%D9%81%D8%AA-%D8%AD%D8%B1%D8%A7%D8%B1%D8%AA%DB%8C/ Recent content in جفت حرارتی on Quartz Infrared Heating Source Hugo fa Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/fa/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/fa/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ترموکوپل برای گرمکن نیمههادی"></p> <p>در خط تولید، محدودیت‌های حرارتی چیزی نیستند که بتوان آن‌ها را نادیده گرفت؛ بلکه این محدودیت‌ها، خطوطی هستند که نباید از آن‌ها عبور کرد. کمی کاهش دما در فرآیند پردازش فوتورزیست، منجر به تغییراتی در ابعاد مهم قطعات می‌شود؛ در نتیجه، بازدهی تولید کاهش می‌یابد. بنابراین، ما از ترموکوپل‌هایی برای هیترهای نیمه‌هادی استفاده کردیم تا این نوسانات را از هر مرحله تولید حذف کنیم.</p> <p>از نظر فنی، چیزی که اهمیت دارد، هماهنگی بین سیستم‌های کنترل دما و ساختار هیترهاست. ما از ترموکوپل‌هایی با پاسخگویی بالا استفاده کردیم؛ این ترموکوپل‌ها در جهت ایجاد یکنواختی حرارتی در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد عمل می‌کنند. سنسورها نیز در محیط‌های خالی از ذرات، و با استفاده از موادی که باعث کاهش گازهای تولید شده و ذرات ناخواسته می‌شوند، ساخته شده‌اند.</p>