http://quartz-ir-heat.com/fa/tags/%D8%AF%D9%85%D8%A7/ Recent content in دما on Quartz Infrared Heating Source Hugo fa Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/fa/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/fa/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="سنسور دما برای ابزار ویفر"></p> <p>در سالن تولید، تغییر دمای 0.5°C در طول بیک کردن فوتورزیست فقط یک جابه‌جایی CD نیست. موضوع خیلی گسترده‌تر است. ابزارهای وافر به صورت 7×24 کار می‌کنند و ناپایداری حرارتی به سرعت تجمع می‌یابد، بودجه حرارتی را کاهش می‌دهد و باعث فشار به انجام دوباره کار می‌شود. نیاز به حسگری برای دما دارید که قابلیت تکرار آن به‌عنوان یک مشخصه تعریف شود، نه صرفاً یک نکته قابل بحث.</p> <p><strong>از نظر فنی چه اهمیت دارد</strong><br> ما این حسگر را برای ابزارهای وافر با تمرکز بر یکنواختی حرارتی در سطح وافر با دامنه ±0.1°C طراحی کردیم، تا هر بیک نرم و بیک سخت، پروفایل حرارتی یکسانی را بارها و بارها تکرار کند. این حسگر با کلاس‌های اتاق تمیز 1–100 سازگاری دارد و ذره‌ای تولید نمی‌کند، بنابراین درگیر کاهش بازده ناشی از آلودگی نخواهید بود. این دستگاه به صورت پیوسته بدون توقف‌های ناگهانی کار می‌کند و عمر سرویس‌دهی آن به اندازه‌ای است که زمان جایگزینی‌ها قابل پیش‌بینی باقی بماند. نتیجه، پنجره فرایندی پایدار و عملکرد لیتوگرافی است که می‌توان روی آن حساب باز کرد.</p>