http://quartz-ir-heat.com/fa/tags/%D9%85%D8%AA%D8%B3%D9%88%D9%86/ Recent content in متسون on Quartz Infrared Heating Source Hugo fa Tue, 09 Jun 2026 03:49:46 +0800 http://quartz-ir-heat.com/fa/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Tue, 09 Jun 2026 03:49:46 +0800 http://quartz-ir-heat.com/fa/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="تعویض لامپ متسون RTP"></p> <p>در فضای کارخانه، خاموش شدن یک لامپ در ابزار RTP صرفاً باعث توقف یک محفظه نمی‌شود—بلکه خط تولید را کاملاً متوقف می‌کند. تغییر دما در طول مراحل نرم‌پخت و سخت‌پخت فتورزیست باعث انحراف ابعاد بحرانی از هدف می‌شود و گرمایش ناهمگون در سطح ویفر، تکرارپذیری را به یک باخت-برد تبدیل می‌کند. تعویض لامپ <a href="https://henruite.com">Mattson</a> RTP طوری طراحی شده که کنترل حرارتی دقیقاً در محدوده فرآیندی حفظ شود.</p> <p>نکات کلیدی در زیر ساختار دستگاه عبارت‌اند از:</p> <p>ماژول‌های لامپ هالوژن ما انرژی موج کوتاه برای افزایش سریع دما و خنک‌سازی سریع فراهم می‌کنند، که باعث محافظت از بودجه حرارتی می‌شود و در عین حال افزایش دمای ناخواسته را حداقل نگه می‌دارد. یکنواختی در سطح ویفر در بازه ±0.1℃ حفظ می‌شود، بنابراین هر پروفایل نرم‌پخت و سخت‌پخت دقیقاً مطابق دستورالعمل باقی می‌ماند—بدون نوسان در لبه‌ها.</p>