Sensor on Quartz Infrared Heating Source

سنسور مادون قرمز دقیق برای ویفر

Wed, 22 Jul 2026 05:06:19 +0800

دیگر اجازه ندهید لامپ‌های گرمایشی، ویفرهای شما را خراب کنند!

اگر از اتاق‌های تمیز کلاس ۱۰۰ استفاده می‌کنید، قطعاً از این مشکل آگاه هستید. حتی یک ذره گرد و غبار کوچک، که حتی نمی‌توان آن را دید، می‌تواند باعث خراب شدن کل محموله ویفرهای شما شود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.

مشکل اینجاست که لامپ‌های معمولی نوع IR، عامل اصلی این مشکل هستند؛ زیرا آن‌ها ذرات ریزی را از خود ساطع می‌کنند. در واقع، این لامپ‌ها مانند کارخانه‌های تولید گرد و غبار عمل می‌کنند، در حالی که شما کمترین توانایی برای تحمل این مشکل را دارید.

گرمکن خشککن ویفر سنسور MEMS

Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800

خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS بدون ایجاد مشکلات
خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS کاری پیچیده است؛ باید آب را به سرعت از روی ویفرها حذف کرد، اما اگر این کار را با شدت زیاد انجام دهیم، خطر استرس حرارتی یا باقی ماندن باقی‌مانده‌های ناخواسته وجود دارد.
روشی که ما پیدا کرده‌ایم، استفاده از گرمکن‌های مادون قرمز همراه با منعکس‌کننده‌های پوشیده شده با طلا است. این روش شاید پیچیده به نظر برسد، اما در واقع هدف آن، اطمینان از این است که گرما درست به روی ویفر برسد و نه فقط داخل دستگاه گرم شود.

بستهبندی سنسورهای هوشمند مادون قرمز

Sat, 18 Jul 2026 04:22:21 +0800

رساندن گرما به جای مناسب آن

اکثر سیستم‌های گرمایشی مبتنی بر امواج مادون قرمز، در واقع نامنظم عمل می‌کنند؛ یعنی انرژی را در همه جا پخش می‌کنند. وقتی که مشغول بسته‌بندی سنسورهای هوشمند هستید، به‌خصوص در سطح ویفر، نمی‌خواهید که بدنه دستگاه تمام آن گرما را جذب کند. شما می‌خواهید که گرما مستقیماً به سیلیکون برسد.

به همین دلیل از بازتابنده‌های پوشیده شده با طلا استفاده می‌کنیم. این روش، در واقع راهی برای جلوگیری از هدر رفتن انرژی و هدایت آن به سمت مقصد مورد نظر است.

هیتر برای ساخت حسگر هیدروژن

Sat, 11 Jul 2026 09:09:22 +0800

حفظ پاکیزگی: واقعیت مربوط به گرمایش سنسورها
هنگام ساخت سنسورهای هیدروژن، حتی وجود یک ذره گرد و غبار یا مقدار کمی گاز ناشی از نشت در سیستم آب‌بندی، می‌تواند باعث خراب شدن کل محصولات تولید شده شود. این موضوع بسیار ناامیدکننده است؛ یک اشتباه کوچک می‌تواند ساعت‌ها زمان صرف شده را بی‌فایده کند.

به همین دلیل، هنگام ساخت گرمکن‌های مادون قرمز برای این منظور، ما فقط به دما فکر نمی‌کنیم؛ بلکه به پاکیزگی نیز توجه می‌کنیم.

سنسور دما برای ابزار ویفر

Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800

در سالن تولید، تغییر دمای 0.5°C در طول بیک کردن فوتورزیست فقط یک جابه‌جایی CD نیست. موضوع خیلی گسترده‌تر است. ابزارهای وافر به صورت 7×24 کار می‌کنند و ناپایداری حرارتی به سرعت تجمع می‌یابد، بودجه حرارتی را کاهش می‌دهد و باعث فشار به انجام دوباره کار می‌شود. نیاز به حسگری برای دما دارید که قابلیت تکرار آن به‌عنوان یک مشخصه تعریف شود، نه صرفاً یک نکته قابل بحث.

از نظر فنی چه اهمیت دارد
ما این حسگر را برای ابزارهای وافر با تمرکز بر یکنواختی حرارتی در سطح وافر با دامنه ±0.1°C طراحی کردیم، تا هر بیک نرم و بیک سخت، پروفایل حرارتی یکسانی را بارها و بارها تکرار کند. این حسگر با کلاس‌های اتاق تمیز 1–100 سازگاری دارد و ذره‌ای تولید نمی‌کند، بنابراین درگیر کاهش بازده ناشی از آلودگی نخواهید بود. این دستگاه به صورت پیوسته بدون توقف‌های ناگهانی کار می‌کند و عمر سرویس‌دهی آن به اندازه‌ای است که زمان جایگزینی‌ها قابل پیش‌بینی باقی بماند. نتیجه، پنجره فرایندی پایدار و عملکرد لیتوگرافی است که می‌توان روی آن حساب باز کرد.