נורה on Quartz Infrared Heating Source

ייצור חיישנים ביולוגיים – נורות אינפראאדום

Tue, 14 Jul 2026 10:39:12 +0800

שמירה על החיישנים הביולוגיים שלכם נקיים

אם אתם עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם בוודאי מכירים את הבעיה. חלקיק אבק קטן או גז כימי מהחימום יכולים להרוס את כל קבוצת החיישנים שלכם. זה מתסכל מאוד.

לכן אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום מקוורץ באיכות גבוהה. הן שומרות על החיישנים נקיים.

הבעיות עם גלי החום הרגילים
רוב רכיבי החימום גורמים לבעיות. כשהם חמים, הם עלולים לפלוט חומרים אורגניים רעילים או להשחרר חלקיקי מתכת קטנים. זה לא טוב כשרוצים ניקיון מוחלט.

מנורת אינפרא אדום עמידה במים לשטיפה

Sun, 12 Jul 2026 10:05:39 +0800

מדוע למנורות אינפרא-אדום יש יתרון על אוויר חם בשלב השטיפה

אם אתם עוסקים בעיבוד של שבבים, אתם יודעים ששלב השטיפה הוא בדרך כלל השלב שבו הכל מתעכב. זו בעיה קלאסית.

במשך שנים רבות, השתמשנו באוויר חם לצורך שטיפה. אך הבעיה היא שצריך לחמם את כל נפח האוויר בתוך החדר, עוד לפני שהוופר ירגיש בשינוי בטמפרטורה. זה איטי ומעיק.

לכן אנו עוברים לשימוש במנורות אינפרא-אדום. הן מבטלות את העיכוב הזה.

ההמתנה היא החלק הגרוע ביותר
לאוויר החם יש מה שהמהנדסים מכנים “אינרציה תרמית”. בשפה פשוטה: נדרש זמן רב לפני שהאוויר מתחיל לפעול. בעצם, צריך לחכות שהחדר יגיע לטמפרטורה הרצויה.

מפעל לייצור נורות אינפרא אדום לייבוש מאושרות

Thu, 09 Jul 2026 03:26:03 +0800

זמן אוטם מהיר – בלי סיכונים
בקו הייצור, המהירות היא הכל. יש צורך במנורות אינפרא-אדום שיפיקו חום במהירות ובאופן אחיד, אך ללא הסיכון של פיצוץ המנורה או זיהום הוופרים. תכננו את המנורות האלו כך שיוכלו לעמוד בחום הגבוה של קו הייצור, ובמקביל לשמור על ניקיון התהליך כולו.

כוח וגודל: תכנון לעבודה בלתי פוסקת
תכננו את המנורות האלו כדי שיוכלו לעבוד 24/7. המתח הגבוה של 400V מאפשר ביצועים יציבים ועם זרם גבוה, כך שהמנורה מגיבת מיד לזמני החימום הקצרים. אורך הצינור של 300 ממ יוצר אזור חימום ממוקד, שמתאים בדיוק למקומות המיועדים לוופרים.

נורה אינפרא אדומה עם מחזיר אור מזהב

Thu, 09 Jul 2026 03:19:02 +0800

יצרנו את הנורה האינפרא-אדומה הזו עם מחזיר אור מצופה בזהב, מסיבה פשוטה אחת בלבד: כדי לוודא שכל ואט של חשמל הופך לחום שניתן לניצול באזור הרצוי. בקו הייצור, אין מקום לחום שעלול להתפזר. יש צורך באנרגיה ממוקדת – וזה בדיוק מה שהמחזיר המצופה בזהב מספק.

בתוך הנורה יש רכיב הלוגן בעל יכולת פלט גבוהה, הממוקם בתוך מעטפת מקוורץ. הצורה של המעטפת אינה אקראית – היא מתוכננת בקפידה. גאומטריה של המחזיר ואורך הצינור עובדים יחד כדי לרכז את החום במקום הנכון ולשלוט בגודל של אזור החום. כך ניתן להשיג תוצאות איכותיות, בלי לצאת מהטווח הרצוי.

החלפת נורות ההלוגן של RTP

Sat, 04 Jul 2026 11:32:14 +0800

הקדמה

בואו נהיה כנים – בייצור של שבבים, השאיפה להפחית את העלויות אינה רק מטרה, אלא דרישה תמידית. לכן יצרנו מוצר שנועד להתמודד עם אותה דרישה: נורת הלוגן באור אינפרא-אדום שמספקת ביצועי חימום מעולים, אך במחיר שאינו גבוה מדי.
זו דרך מעולה לשפר את הביצועים, מבלי להקריב את האמינות או היעילות של המערכת. אתם מקבלים את הביצועים הדרושים, אך ללא המחיר הגבוה שבדרך כלל מאפיין מוצרים מסוג זה.

הכוח שמאחורי החימום

הנורות האלה נוצרו במיוחד כדי לעמוד בדרישות הקיצוניות של תהליכי ייצור שבבים. אנו בחרנו בעיצוב במתח גבוה של 400V – מה שאומר שהזרם עולה במהירות רבה.
מה זה אומר? מחזורי החימום שלכם יהיו מהירים יותר.
מדובר בצינור באורך 300 ממ, שניתן להתקין אותו ישירות בתא ה- RTP הקיים שלכם, מבלי להצטרך לשנות את כל ההגדרות של המערכת. עם עוצמת חימום של 2500 וואט, הנורה מסוגלת להגיע לטמפרטורות הרצויות במהירות.
יש לציין כי המערכת הזו יוצרת חום רב – וודאו שמערכת הקירור של המכונה שלכם מסוגלת להתמודד עם העומס הזה.

נורה לחימום ליתוגרפיה של קאנון

Sun, 07 Jun 2026 04:02:10 +0800

On the lithography floor, you know how quickly a 0.5°C drift during photoresist bake can kick critical dimension (CD) control out of spec. The Canon lithography heater bulb is built to keep thermal behavior locked inside the process window, shift after shift. מה שחשוב מתחת למכסה המנוע הנורה משתמשת בפולטי הלוגן אינפרא-אדום קצרים (IR) בקפסולת קווארץ, כך שמתקבלת חימום קרינה ישיר ומהיר עם אינרציה תרמית נמוכה. ברחבי אזור האפייה, אחידות הטמפרטורה ברמת התבנית נשמרת בטווח ±0.1°C, והחזרתיות בטמפרטורה נשארת בתוך ±0.2°C בין אצווה לאצווה. העיצוב תואם לחדרים נקיים Class 1–100, והחומרים והחיבורים נבחרו כדי לשמור על יצירת חלקיקים ופליטה נמוכים. יציבות התפוקה מוגדרת להישאר בתוך 2% על פני 5,000+ שעות, מה שמאפשר להריץ קמפיינים ארוכים ללא צורך במעקב אחר סטיית כיול. זו הסיבה לכך שהנושא קריטי בתהליך העיבוד של הפוטורזיסט. אפייה רכה לאחר הספין ואפייה קשה לפני החריטה או הפיתוח – דיוק הטמפרטורה משפיע ישירות על הסרת הממיס, מתחים בסרט, והסטיית מימדים קריטית (CD bias). שליטה תרמית צמודה מתורגמת לפחות אצוות תיקון, פחות פסולות, ויכולת חפיפה צפויה יותר. פרופיל ה-IR עם תגובת מהירות גבוהה מקטין את זמן החימום והקירור, מה שמשפר ניצול ציוד. צריכת האנרגיה מכווננת בהתאמה לתקציב התרמי של הפוטורזיסט על פי ספקטרום היציאה, כך שלא משוחרר חום מיותר שעלול ללחוץ על הצ’אק והמודולים הסובבים. והאמינות מתוכננת לפעולה רציפה 24/7, מה שמקטין הפתעות ועומס תחזוקה. כמה עובדות מהשטח ההתקנה חייבת להתבצע בהתאם למפרטי החיבורים והיישור של ה-OEM — במפסקים שאינם תואמים יכולים להיווצר נקודות חמות וכך מתקצר אורך חיי הנורה. הנורה אופטימלית לפלטפורמות ליתוגרפיה של Canon, ויש צורך ברפלקטורים תואמים ובניהול תרמי נכון כדי לשמור על אחידות ±0.1°C. לפני החלפה, יש לוודא את גאומטריית תא האפייה וטולרנס ספק הכוח. לאחר מכן, יש לשמור על תהליך מבוקר על ידי קביעת בדיקות תקופתיות של עוצמת האינפרא-אדום – שמירה בתוך תוכנית השליטה היא הדרך היחידה לשמור על ביצועים יציבים.