Sensor on Quartz Infrared Heating Source

חיישן אינפרא אדום מדויק לוופרים

Wed, 22 Jul 2026 05:06:21 +0800

חדלו לאפשר למנורות החימום שלכם לפגוע בוופרים שלכם

אם אתם משתמשים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם בוודאי מכירים את הבעיה הזו. רסיס אבק קטן בלבד – דבר שאי אפשר אפילו לראות – יכול להרוס את כל סדרת הוופרים שלכם. זה מעצבן מאוד.

הבעיה היא שמנורות IR רגילות הן לעתים קרובות הגורם לבעיה. הן פולטות חלקיקים מיקרוסקופיים מהמעטפת שלהן, ובעצם פועלות כמו “מפעלי אבק” בדיוק במקום שבו אין לכם אפשרות לסבול זאת.

פתרנו את הבעיה על ידי שימוש בקוורץ מזוקק ברמת טוהר גבוהה כחומר לייצור המנורות.

מחמם לייבוש שבבי חיישני MEMS

Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800

ייבוש שבבי MEMS ללא בעיות

ייבוש שבבי החיישנים של MEMS הוא משימה שדורשת איזון עדין. יש צורך להוריד את המים מהשבבים – במהירות – אך אם עושים זאת באופן קיצוני, עלולים להיווצר מתחים תרמיים או שיישארו שאריות לא רצויות על השבבים.

הפתרון שמצאנו הוא שימוש במחממים באינפרא-אדום בשילוב עם מחזירי אור מצופים בזהב. זה נשמע מתוחכם, אך למעשה מדובר רק בוודאות שהחום יפגע ישירות בשבב, ולא יחמם את החלקים הפנימיים של המכונה.

למה זהב?
חשבו על להט מסורתי – הוא מפיץ חום לכל הכיוונים. במצב כזה, חצי מהאנרגיה נזרקת לשווא. על ידי הוספת שכבת זהב בעלת טוהר גבוה על המחזיר, אנו יכולים להחזיר כ-98% מאור האינפרא-אדום למקום הנכון.

אריזת חיישנים חכמים באמצעות אינפרא אדום

Sat, 18 Jul 2026 04:22:21 +0800

להעביר את החום למקום הנכון

רוב מערכות החימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום הן פשוט… לא יעילות. הן שולחות אנרגיה לכל מקום. כשעובדים על אריזת חיישנים – בעיקר ברמת הווה-טכנולוגי – אין צורך שהמכונה תספוג את כל החום הזה. רוצים שהחום יגיע ישירות לסיליקון. זהו.

לכן אנו משתמשים במראות מצופות בזהב. זו דרך טובה למנוע בזבוז אנרגיה ולהפנות אותה למטרה הנכונה.

למה זהב?

זה נשמע מפואר, אבל למעשה זו פשוט דרך יעילה. זהב מסוגל להחזיר קרני אינפרא-אדום בצורה מעולה. על ידי הנחת שכבה דקה של זהב על המראה, אנו מונעים מהמערכת לספוג את החום שהיא אמורה להעביר.

מחמם לייצור חיישני מימן

Sat, 11 Jul 2026 09:09:26 +0800

שמירה על טוהר החיישנים: המציאות של חימום באמצעות חיישנים

כשמייצרים חיישני מימן, גרגיר אבק אחד או כמות קטנה של גז שחודרת מבין החוסמים יכולים להרוס את כל המוצרים. זה מתסכל מאוד – טעות קטנה אחת יכולה לגרום לבזבוז שעות רבות של עבודה.

לכן, כשאנו בונים מחממים באמצעות אינפרא-אדום לצורך זה, אנו לא חושבים רק על הטמפרטורה, אלא גם על הטוהר של החיישנים.

החומרים שאנו משתמשים בהם
אנו משתמשים בקוורץ סינתטי באיכות גבוהה לצורך בניית המנורות שלנו. למה? מכיוון שזכוכית רגילה או חומרים זולים נוטים להתפרק או לשחרר חלקיקים כשהם נחממים.

חיישן טמפרטורה לכלי וופרים

Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800

On the fab floor, a 0.5°C drift during the photoresist bake isn’t just a CD shift. It’s a lot on the line. Wafer tools run 7×24, and thermal instability compounds fast, eating thermal budget and forcing rework. You need a temperature sensor where repeatability is a spec, not a talking point.

What matters, technically
בנינו את החיישן הזה לכלי וופר סביב אחידות תרמית ברמת הוופר של ±0.1°C, כך שכל אפיית רזיסט רכה וקשיחה תתבצע בפרופיל תרמי אחיד, מכתבה לכתבה. הוא מתאים לכיתות חדר נקי 1–100 ומייצר אפס חלקיקים, כדי למנוע פגיעה בתפוקה כתוצאה מזיהום. הוא פועל ברציפות ללא עצירות בלתי מתוכננות, וחיי השירות ארוכים דיים כך שהחלפות נותרות צפויות. התוצאה היא חלון תהליך יציב וביצוע ליתוגרפי שניתן לסמוך עליו.
Why it sticks in practice
בתהליך עיבוד פוטורזיסט, טמפרטורת האפייה שולטת בהסרת ממס ובהברשת הפולימר. בקרה הדוקה יותר תורמת להפצת מימד קריטי (CD) מדויקת יותר ופחות חריגות. עם החיישן הזה, הכשרת מתכון מתבצעת מהיר יותר, בדיקות חוזרות לאחר תחזוקה מצטמצמות, וההתנהגות התרמית נשארת עקבית לאורך כל הכלים. צריכת האנרגיה יורדת מכיוון שלולאת הבקרה אינה מנסה לתקן סטייה, ותחזוקה מתנהלת על פי תוכנית קבועה ולא כתגובה לבעיות.
What you need to plan for
סובלנות ההתקנה הדוקה: יש ליישר את החיישן אל מסת התרמית המצוינת ולמקם אותו כך שישיג אחידות של ±0.1°C. יש להקדיש זמן לאינטגרציה מלאה לכלי — בדרך כלל ריצה קצרה לאימות — כדי לקבוע גבולות בקרה ולאמת ביצועי חלקיקים בחדר הנקי. לאחר כיול, יש לשמור על הפעלה רציפה. עצירה והפעלה מחדש גורמים להתנהגות זמנית שעלולה להסוות סטייה אמיתית בתהליך.