फैब्रिकेशन लाइन पर, वह पतली बैटरी सेपरेटर फिल्म कोई ऐसी चीज नहीं है जिसे आसानी से नष्ट किया जा सके… यह तो प्रक्रिया का ही हिस्सा है, और हर बार बेकिंग के दौरान इसका व्यवहार सुसंगत ही रहना आवश्यक है। यदि तापमान में थोड़ा भी बदलाव हो जाए, तो यह फिल्म घुलनशील पदार्थों को अपने अंदर धारण कर सकती है, या असमान रूप से सिकुड़ सकती है। ऐसी स्थिति में बजट बर्बाद हो जाता है… इसलिए ऐसे ड्रायर की आवश्यकता है जो इस फिल्म को एक “प्रक्रिया-महत्वपूर्ण” परत के रूप में ही व्यवहार करे, न कि किसी साधारण उपकरण के रूप में।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने ऐसा ड्रायर बनाया है जो शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड के द्वारा तेज़ एवं समान तापन प्रदान करता है… सक्रिय क्षेत्र में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… और फोटोरेजिस्ट के बेकिंग प्रक्रम में भी तापमान स्थिर ही रहता है… क्योंकि ही बार-बार होने वाली प्रक्रियाओं के कारण ही महत्वपूर्ण आयाम स्थिर रहते हैं। यह सिस्टम क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी कार्य कर सकता है… एवं हॉट ज़ोन में कोई भी कण नहीं बनता… जिसकी पुष्टि इन-साइट कण-निगरानी से होती है।
विश्वसनीयता… यह तो कोई नारा नहीं, बल्कि डिज़ाइन का ही लक्ष्य है!
ये ड्रायर 24/7 कार्य करते हैं… बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के… एवं लैंप मॉड्यूल 5,000+ घंटों तक कार्य कर सकता है… एवं इसकी कार्यक्षमता में 5% से भी कम कमी आती है।
बैटरी सेपरेटर फिल्म प्रसंस्करण हेतु यह ड्रायर क्यों उपयुक्त है?
यह ड्रायर लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं से पहले ही कार्य करता है… यह अवशिष्ट नमी एवं घुलनशील पदार्थों को तेज़ी से हटा देता है… बिना किसी तापीय झटके के… इससे फिल्म समतल एवं सूखी ही रहती है… इसका परिणाम है कम री-वर्किंग, कम अपशिष्ट, एवं स्थिर उत्पादन दर।
ऊर्जा उपयोग भी नियंत्रण में है…
हीटर आवश्यकता के अनुसार ही गर्मी प्रदान करता है… एवं तापमान को स्थिर रखता है… इससे प्रति बैच में खर्च होने वाली ऊर्जा कम ही रहती है।
व्यावहारिक विवरण…
यह ड्रायर मौजूदा फैब्रिकेशन उपकरणों में आसानी से एकीकृत हो सकता है… लेकिन इसके लिए एक विशेष ऊर्जा-स्रोत एवं उचित वेंटिलेशन व्यवस्था आवश्यक है… ताकि तापमान स्थिर रहे… एवं वेंटिलेशन भी उचित तरीके से हो सके। बेकिंग प्रक्रिया को सही ढंग से लागू करने हेतु, एवं क्लीनरूम में कणों की मात्रा की जाँच करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।