फैब्रिकेशन फ्लोर पर, चेम्बर के तापमान में 0.5°C का अंतर भी उत्पादन दक्षता को प्रभावित कर सकता है। हमने ऐसा CVD हीटर विकसित किया है, क्योंकि हर उत्पादन प्रक्रिया में तापमान का सटीक नियंत्रण आवश्यक है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
इस हीटर में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हीटिंग तकनीक का उपयोग किया गया है; साथ ही क्वार्ट्ज से ढके गए घटकों का उपयोग करके वेफरों पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखा जाता है। तापमान 10 सेकंड के भीतर ही स्थिर हो जाता है, एवं हजारों चक्रों में भी तापमान ±0.2°C के भीतर ही रहता है।
क्लीनरूम के साथ संगतता
क्लीनरूम के साथ संगतता भी इस हीटर की विशेषताओं में से एक है। कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है; इसके अलावा, सतह की समतलता भी बनाए रखी गई है। शून्य कण उत्पन्न होना यहाँ कोई वादा नहीं, बल्कि एक आवश्यकता है… और इसकी जाँच इन-सिटू निगरानी द्वारा की जाती है।
उत्पादन में इसकी उपयोगिता
CVD प्रक्रिया में, तापीय स्थिरता ही फिल्म की मोटाई, तनाव एवं दोषों की संख्या को नियंत्रित करती है। यह हीटर तापीय स्थिरता को बनाए रखता है… इससे उत्पादन प्रक्रिया सुचारू रूप से चलती है। तेज़ प्रतिक्रिया के कारण, विभिन्न चरणों के बीच का समय कम हो जाता है… एवं स्थिर तापमान से फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया भी सुचारू रूप से चलती है। इससे पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है।
ऊर्जा उपयोग
ऊर्जा उपयोग कम होता है… क्योंकि गर्मी केवल आवश्यकता के अनुसार ही उत्पन्न होती है… एवं इसमें कोई अतिरिक्त ऊर्जा खर्च नहीं होता। यह हीटर 24/7 चल सकता है… बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के।
क्या ठीक से करना आवश्यक है?
इस हीटर की स्थापना के दौरान चेम्बर के “हॉट ज़ोन” में इसे सही जगह पर रखना आवश्यक है… साथ ही उचित RF/EMI शील्डिंग भी आवश्यक है। यदि ऐसा नहीं किया गया, तो बाद में सूक्ष्म असमानताएँ उत्पन्न हो सकती हैं।
PID सेटिंग्स
PID सेटिंग्स को चेम्बर की विशेषताओं एवं गैस प्रवाह के अनुसार ही सेट करना आवश्यक है। ऐसा करने के बाद ही हीटर सही ढंग से काम करेगा… लेकिन इसे केवल एक उपकरण के रूप में ही नहीं, बल्कि प्रक्रिया का ही हिस्सा मानना आवश्यक है।