वैक्यूम चेम्बर में उचित तापमान प्राप्त करना
यदि आप एक आधुनिक फैब रिसाइक्लिंग संयंत्र बना रहे हैं, तो आपको यह जरूर पता होगा कि ऊष्मा-ऊर्जा का उपयोग करना काफी कठिन है। जब वैक्यूम चेम्बर से हवा निकाल दी जाती है, तो संवहन प्रक्रिया पूरी तरह से बंद हो जाती है। ऐसी स्थिति में, काम पूरा करने हेतु आपको केवल विकिरण का ही उपयोग करना पड़ता है।
यहीं पर इन्फ्रारेड (IR) प्रणालियाँ काम आती हैं। ये प्रणालियाँ वैक्यूम की समस्याओं से लड़ने के बजाय, उसके साथ ही काम करती हैं… अर्थात् ऊर्जा को सीधे लक्ष्य तक पहुँचाती हैं, बिना किसी मध्यस्थ की आवश्यकता के।
तापमान का अनुमान लगाना बंद करें
हम सभी ने मानक रेजिस्टिव हीटरों का उपयोग किया है। समस्या यह है कि ये हीटर धीरे-धीरे ही गर्म होते हैं… और ठंडे होने में भी बहुत समय लगता है। जब आप PID लूप को संभालने की कोशिश कर रहे होते हैं, तो यह देरी बहुत ही परेशान करने वाली होती है… यह आपके डेटा-लॉगों को भी गड़बड़ा देती है… और पूरी प्रक्रिया ऐसी ही लगती है, जैसे आप किसी टूटे हुए स्टीयरिंग व्यवस्था वाले जहाज को चला रहे हों।
इन्फ्रारेड हीटर अलग हैं… ये तुरंत ही गर्म हो जाते हैं। चूँकि ये हीटर वास्तविक समय में ही प्रतिक्रिया देते हैं, इसलिए इन्हें सीधे PLC में ही जोड़ा जा सकता है। आपको अब केवल थर्मोकपल के आधार पर ही अनुमान लगाने की आवश्यकता नहीं है… बल्कि आप अपने वेफरों के तापमान का सटीक आकलन कर सकते हैं। यह तो कमरे के तापमान का अनुमान लगाने एवं वास्तविक गर्म बिंदुओं को जानने में बहुत बड़ा अंतर है।
वैक्यूम में काम करने की वास्तविकताएँ
वैक्यूम में उपकरणों को चलाना आसान नहीं है… गैसों का निकलना भी एक बड़ी समस्या है… कोई भी व्यक्ति ऐसी स्थिति में अपनी प्रक्रियाओं को खराब होने नहीं देना चाहता। इस समस्या को दूर करने हेतु, हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज एवं विशेष प्रकार की परतों का उपयोग करते हैं… ताकि सब कुछ साफ रहे।
फिर ऊर्जा का मुद्दा भी है… आप तो जल्दी से ही लक्षित तापमान तक पहुँचना चाहते हैं… लेकिन समस्या यह है कि उच्च वाटेज की ऊर्जा के कारण वैक्यूम में गर्मी पैदा हो जाती है… यदि आपके कूलिंग सिस्टम उचित न हों, तो सीलें खराब हो जाती हैं… या सेंसर भी खराब हो जाते हैं… यह तो एक बड़ी समस्या है।
उपयुक्त समाधान
कोई भी व्यक्ति ऐसी थर्मल सिस्टम नहीं चाहता, जो पूरे क्लीनरूम के आकार को आधा कर दे…
शॉर्टवेव इन्फ्रारेड का उपयोग करके, हम ऊष्मा-स्रोत को लक्ष्य के बहुत करीब ला सकते हैं… इससे हमें बड़े आकार के हाउसिंग/फ्रेमों की आवश्यकता ही नहीं पड़ती… इससे पूरी प्रणाली बहुत ही सरल हो जाती है… और आपको प्रति वर्ग मीटर अधिक वेफर मिल जाते हैं… आपकी लेआउट प्रणाली भी सरल हो जाती है… और आपका कार्य-प्रवाह भी आसान हो जाता है।