रिन्सिंग चरण में आईआर लैंप, हॉट एयर से क्यों बेहतर हैं?
यदि आपने सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण का काम किया है, तो आपको पता होगा कि रिन्सिंग चरण में ही सब कुछ धीमा हो जाता है। यही वह “बैंडपास्ट” है।
वर्षों से हम हॉट एयर का उपयोग करते आ रहे हैं। लेकिन समस्या यह है कि वेफर में तापमान में परिवर्तन होने में काफी समय लगता है। यह प्रक्रिया धीमी एवं कठिन है।
इसीलिए हम वॉटरप्रूफ आईआर लैंपों का उपयोग कर रहे हैं। ऐसे लैंपों से यह समस्या दूर हो जाती है।
प्रतीक्षा ही सबसे बड़ी समस्या है
हॉट एयर में “थर्मल इनर्शिया” होती है… दूसरे शब्दों में, इसमें गति लाने में काफी समय लगता है। आपको बस इंतज़ार करना ही पड़ता है।
आईआर लैंपों में ऐसी कोई समस्या नहीं है… ये तो तुरंत ही वेफर की सतह पर ऊष्मा पहुँचाते हैं। ऊष्मा स्थानांतरण तुरंत ही हो जाता है।
इससे उत्पादन प्रक्रिया तेज़ हो जाती है… और आपको बड़े उपकरणों की आवश्यकता भी नहीं पड़ती।
पानी को बाहर रखना
रिन्सिंग ज़ोन में लैंप लगाने से शॉर्ट-सर्किट होने का खतरा है… क्योंकि वहाँ नमी होती है।
इस समस्या से बचने हेतु हम विशेष क्वार्ट्ज आवरणों एवं सील्ड एंड-कैपों का उपयोग करते हैं… इससे पानी बाहर ही रहता है। सामान्य लैंप ऐसी स्थितियों में नष्ट हो जाते हैं… लेकिन ऐसे लैंपों में फिलामेंट सुरक्षित रहता है।
एक समस्या… (क्योंकि हमेशा ही कोई न कोई समस्या होती है)
आईआर लैंप तो तेज़ हैं… लेकिन ये चुनिंदा रूप से ही काम करते हैं। हॉट एयर के विपरीत, आईआर लैंप केवल उसी हिस्से को गर्म करते हैं जिसे वे देख सकते हैं। यदि लैंपों की स्थिति ठीक न हो, तो कुछ हिस्से ठंडे ही रह जाते हैं… और सुखाने की प्रक्रिया असमान रह जाती है।
आपको यह भी सुनिश्चित करना होगा कि आपका पावर सप्लाई इतनी तेज़ गति से काम कर सके… क्योंकि उच्च ऊष्मा घनत्व के कारण उपकरणों को भी उचित स्तर पर ही काम करना होता है।
आपके उत्पादन हेतु इसका क्या मतलब है?
वास्तव में, आईआर लैंपों का उपयोग करने से समय ही बचता है… वेफर को गर्म होने में लगने वाला समय मिनटों से कम होकर सेकंडों में ही हो जाता है। उत्पादन बढ़ाने हेतु यह बहुत ही लाभदायक है… इससे पूरी प्रक्रिया आसान एवं कम परेशानी वाली हो जाती है।