http://quartz-ir-heat.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウェハー on Quartz Infrared Heating Source Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェハーツール用温度センサー"></p> <h1 id="fabフロアではフォトレジストベーク中の05cのドリフトは単なるcdシフトではありません非常に重要な影響を及ぼしますウェハーツールは724稼働しており熱的な不安定性は急速に累積し熱予算が圧迫され再作業を強いられます再現性が仕様であり議論の余地がない温度センサーが必要です">Fabフロアでは、フォトレジストベーク中の0.5°Cのドリフトは単なるCDシフトではありません。非常に重要な影響を及ぼします。ウェハーツールは7×24稼働しており、熱的な不安定性は急速に累積し、熱予算が圧迫され再作業を強いられます。再現性が仕様であり議論の余地がない温度センサーが必要です。</h1> <p><strong>技術的に重要な点</strong><br> このセンサーはウェハーレベルでの熱均一性±0.1°Cを目標にウェハーツール向けに設計されています。そのため、ソフトベークとハードベークのすべてがロットごとに同一の熱プロファイルを実現します。クリーンルームクラス1〜100に対応し、発塵はゼロのため、汚染による歩留まり低下を防止します。<a href="https://o-yate.net">無停止</a>で連続稼働可能で、寿命も長く交換時期が予測可能です。その結果、安定したプロセスウィンドウと確実なリソグラフィ性能を提供します。</p>