MEMSウェーハを面倒なことなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスを取る必要があります。水を速やかに除去する必要はありますが、力を入れすぎると熱応力が生じたり、不純物が残ったりする危険があります。 私たちが見つけた解決策は、赤外線ヒーターと金コーティングされた反射...

ファブフロアでは、ソフトベークの温度がわずか0.5℃ずれるだけで、重要寸法制御に影響を及ぼし、現像後にスカムが残ることがあります。もはや推測の余地はありません。フォトレジスト乾燥用赤外線モジュールは、その変動要因を排除し、ウェハーレベルの均一性とクリーンルームの管理が唯一の許容基準となる環境下で繰...