バスルームで使用する赤外線ヒーターを安全に、かつ乾燥した状態に保つためには、注意が必要です。バスルームは蒸気や水しぶきがどこにでもある場所です。そういう環境では、通常のヒーターを使うのは危険すぎます。 安心して使うためには、単に電球だけを信頼するわけにはいきません。全体の構造がIP65等級であるこ...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100の環境でシリコンウェーハを加熱する場合、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな破片やガスの放出だけで、生産されたウェーハ全体が廃棄処分になってしまいます。本当に困りますよね。一般的な加熱素子では、このような状況に対応でき...

マシンの外壁を加熱するのはやめよう（部品自体を加熱しよう） 半導体関連の機器を扱ったことがある人なら、その「過度な発熱」という問題を知っているでしょう。対流式の加熱装置を使うと、内部のケース全体が巨大なラジエーターのようになります。外壁が非常に高温になり、デリケートな電子部品が壊れてしまう心配が出...

ファブ内では、ウェーハを50µmの厚さまで薄くしますが、乾燥が均一でないため、歩留まりが低下してしまいます。ソフトベイクの際にはフォトレジストの表面状態が不安定になります。また、硬化処理時の温度が急上昇すると、パッケージのアンダーフィル部分が割れてしまいます。私たちは、こうした熱的な不確実性を解消...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成時に0.5℃の温度変動があっただけで、300mmウェハが廃棄処分になってしまいます。したがって、温度制御は単なる補助的な作業ではなく、プロセスが成立するための不可欠な要素です。私たちは、ウェハ全体の温度を±0.1℃以内に保つことができるNIR加熱システムを開発...