http://quartz-ir-heat.com/ja/tags/%E6%9C%AA%E6%9D%A5/ Recent content in 未来 on Quartz Infrared Heating Source Hugo ja Wed, 01 Jul 2026 13:08:31 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ja/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ Wed, 01 Jul 2026 13:08:31 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ja/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="半導体加熱技術の未来"></p> <p>ファブの現場では、フォトレジストの焼成時に0.5℃の温度変動があっただけで、300mmウェハが廃棄処分になってしまいます。したがって、温度制御は単なる補助的な作業ではなく、プロセスが成立するための<a href="https://o-yate.net">不可欠</a>な要素です。私たちは、ウェハ全体の温度を±0.1℃以内に保つことができるNIR加熱システムを開発しました。これにより、ソフトベイクやハードベイクの過程でも、重要な寸法が規定値を維持されます。</p>