http://quartz-ir-heat.com/ja/tags/%E7%86%B1%E9%9B%BB%E5%AF%BE/ Recent content in 熱電対 on Quartz Infrared Heating Source Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ja/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ja/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="半導体ヒーター用熱電対"></p> <p>製造現場において、熱的制約というのは単なる目安ではなく、決して超えてはいけない境界線です。フォトレジスト処理の際に数度でも温度が<a href="https://o-yate.net">低下</a>すると、エッチング後に寸法が変わってしまいます。その結果、歩留まりが悪化します。そこで、半導体ヒーター用の熱電対を設置し、各加熱工程での不確実性を排除しました。</p> <p>技術的に重要なのは、熱電対の特性がヒーターの形状に合致しているかどうかです。私たちは、高応答性の熱電対を選定し、ウェーハ全体で±0.1℃以内の温度均一性を実現しています。センサーはクリーンルームクラス1～100に適合するように梱包されており、ガス放出や粒子発生を抑えるために適切な材料が使用されています。</p>