IR on Quartz Infrared Heating Source

IRエミッタ用セラミックエンドキャップ

Mon, 27 Jul 2026 08:58:40 +0800

化学処理エリアで赤外線ヒーターを使用する場合、どれほど危険な状況かは想像に難くありません。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、さらに腐食性の物質も存在します。そうした環境では、通常のワイヤー接続では不十分であり、むしろ危険すらあります。わずかな火花やシールの緩みだけで、大惨事につながりかねません。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Wed, 22 Jul 2026 05:06:19 +0800

加熱ランプによってウェーハがダメになるのを防ごう

クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はよくご存知でしょう。見えないほど微細なほこり一つでも、ウェーハ全体が無駄になってしまいます。本当に困りますよね。
問題は、一般的なIRランプがその原因であることです。これらのランプからは微細な粒子が放出され、まるで小さなほこり発生装置のように機能してしまいます。
私たちは、加熱要素として高純度の融合石英を使用することでこの問題を解決しました。

赤外線ランプ用アルミニウム反射板

Mon, 20 Jul 2026 11:41:40 +0800

ウェーハを清潔に保つために：なぜIRランプの設計が重要なのか
高負荷の製造環境では、ランプの故障は単なる技術的な問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。
例えば、シリコンウェーハの真上でIRチューブが破裂したとしましょう。その場合、ガラスの破片やハロゲンガスが飛び散り、結果としてウェーハ全体が汚染されてしまいます。これは大変な問題です。私たちは、このような事態を防ぐために、高度な幾何学的構造と高純度のアルミニウムを用いて加熱システムを設計しています。
秘密はリフレクターにあります。
私たちは、反射率の高いアルミニウムを使用してハウジングを作っています。多くの人々は、リフレクターは単に熱をウェーハに戻すためのものだと思っています。確かにそうですが、実際には物理的な遮蔽装置でもあります。
私たちは、熱密度を正確に制御し、かつランプを安全に保つために、焦点の位置を慎重に計算します。もしチューブが壊れても、リフレクターが破片を受け止めてくれます。そうすれば、破片は製品に付着することはありません。
熱対策
高出力のランプは非常に高温になります。チューブが振動すると、割れてしまいます。だからこそ、私たちは安定性を保つために強化されたマウントを使用しています。また、ランプとコネクタの間のシールも丁寧に行っています。なぜなら、電気的な短絡が起きるのは最悪の事態だからです。
ちなみに、冷却システムが全体的な熱量を処理できるかどうかも重要です。もしリフレクターのハウジングが過度に熱くなると、アルミニウムが変形してしまいます。そうなると、焦点がずれてしまい、ウェーハに不均一な加熱が生じてしまいます。
不要なものを排除する
私たちは、「汚染の原因となるもの」をできるだけ減らそうとしています。
私たちの加熱エリアの近くには、有機系のコーティングや接着剤は一切ありません。なぜかというと、それらは熱くなるとガスが放出されてしまい、それは「清潔」とは正反対のことだからです。
これらをラインに組み込む際には、統合された安全装置が最後の防御線として機能します。もしチューブが壊れても、破片は内部に留まります。そうすれば、生産を続けることができ、ウェーハも清潔のままでいられます。

ファブIRランプ用クォーツスリーブ

Mon, 29 Jun 2026 07:23:59 +0800

ファブ内では、フォトレジストの焼成処理については議論の余地などありません。重要なのは、再現性のある温度制御です。ウェーハの温度が半度でもずれると、重要な寸法が変わってしまいます。その結果、何時間もかけて行ったリソグラフィー作業が台無しになってしまいます。

IRランプとそのクォーツスリーブは、その熱循環の中心に位置しています。もしスリーブが適切に機能しなければ、製造プロセスに支障が出ます。