MEMS 웨이퍼를 고통 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물기를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강하게 처리하면 열응력이 생기거나 불쾌한 잔여물이 남을 수 있습니다. 우리가 발견한 해결책은 적외선 히터와 금으로 코팅된...

fab 플로어에서 소프트 베이크 과정에서 0.5도만 편차가 나도 치수 제어에 영향을 미치고 현상 후 잔류물이 남을 수 있다. 더 이상 추측에 의존할 여지가 없다. 우리는 웨이퍼 수준 균일성과 클린룸 규율만이 허용되는 기준일 때 변수를 제거하여 반복 가능한 열 거동을...