http://quartz-ir-heat.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0/ Recent content in 건조 on Quartz Infrared Heating Source Hugo ko Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>MEMS 웨이퍼를 고통 없이 건조시키는 방법<br> MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물기를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강하게 처리하면 열응력이 생기거나 불쾌한 잔여물이 남을 수 있습니다.<br> 우리가 발견한 해결책은 적외선 히터와 금으로 코팅된 반사체를 함께 사용하는 것입니다. 듣기에는 복잡해 보이지만,實제로는 열이 웨이퍼에 직접 전달되도록 하는 것입니다.</p> http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Mon, 01 Jun 2026 20:35:30 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="포토레지스트 건조 적외선 모듈"></p> <h1 id="fab-플로어에서">fab 플로어에서</h1> <p>소프트 베이크 과정에서 0.5도만 편차가 나도 치수 제어에 영향을 미치고 현상 후 잔류물이 남을 수 있다. 더 이상 추측에 의존할 여지가 없다. 우리는 웨이퍼 수준 균일성과 클린룸 규율만이 허용되는 기준일 때 변수를 제거하여 반복 가능한 열 거동을 제공하는 포토레지스트 건조 적외선 모듈을 개발했다.</p>