포토레지스트 건조 적외선 모듈

fab 플로어에서 소프트 베이크 과정에서 0.5도만 편차가 나도 치수 제어에 영향을 미치고 현상 후 잔류물이 남을 수 있다. 더 이상 추측에 의존할 여지가 없다. 우리는 웨이퍼 수준 균일성과 클린룸 규율만이 허용되는 기준일 때 변수를 제거하여 반복 가능한 열 거동을...