http://quartz-ir-heat.com/ko/tags/%EB%AA%A8%EB%93%88/ Recent content in 모듈 on Quartz Infrared Heating Source Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 20:35:30 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Mon, 01 Jun 2026 20:35:30 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="포토레지스트 건조 적외선 모듈"></p> <h1 id="fab-플로어에서">fab 플로어에서</h1> <p>소프트 베이크 과정에서 0.5도만 편차가 나도 치수 제어에 영향을 미치고 현상 후 잔류물이 남을 수 있다. 더 이상 추측에 의존할 여지가 없다. 우리는 웨이퍼 수준 균일성과 클린룸 규율만이 허용되는 기준일 때 변수를 제거하여 반복 가능한 열 거동을 제공하는 포토레지스트 건조 적외선 모듈을 개발했다.</p>