http://quartz-ir-heat.com/ko/tags/%EB%AF%B8%EB%9E%98/ Recent content in 미래 on Quartz Infrared Heating Source Hugo ko Wed, 01 Jul 2026 13:08:31 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ Wed, 01 Jul 2026 13:08:31 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="반도체 가열 기술의 미래"></p> <p>팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변화가 생겨도 300mm 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 따라서 열 제어는 단순한 부수적인 작업이 아니라, 공정이 정상적으로 진행될 수 있도록 하는 핵심 요소입니다. 우리는 웨이퍼 전체의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지할 수 있는 NIR 가열 시스템을 개발했습니다. 이를 통해 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서도 웨이퍼의 치수가 규격 내에 머물 수 있습니다.</p>