IR 램프용 알루미늄 반사기

웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법: 왜 IR 램프의 설계가 중요한가요? 고부하 환경에서 램프가 고장나는 것은 단순한 기술적 문제가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다. 실리콘 웨이퍼 위에서 IR 램프가 파손된다고 상상해 보세요. 유리 조각과 할로겐 가스가 사방으로 튀어...