http://quartz-ir-heat.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Quartz Infrared Heating Source Hugo ko Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>MEMS 웨이퍼를 고통 없이 건조시키는 방법<br> MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물기를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강하게 처리하면 열응력이 생기거나 불쾌한 잔여물이 남을 수 있습니다.<br> 우리가 발견한 해결책은 적외선 히터와 금으로 코팅된 반사체를 함께 사용하는 것입니다. 듣기에는 복잡해 보이지만,實제로는 열이 웨이퍼에 직접 전달되도록 하는 것입니다.</p>