http://quartz-ir-heat.com/ko/tags/tool/ Recent content in Tool on Quartz Infrared Heating Source Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="웨이퍼 장비용 온도 센서"></p> <p>제조 현장에서, 포토레지스트 베이크 중 0.5°C 편차는 단순한 CD 변화가 아니다. 손실 위험이 크다. 웨이퍼 장비는 7×24로 가동되며, 열 불안정성은 빠르게 누적되어 열 예산을 소진시키고 재작업을 강제한다. 반복성이 명세서에 명확히 기재된 온도 센서가 필요하다.</p>