Pada tingkat litografi, anda tahu betapa cepatnya pergeseran 0.5°C semasa pembakaran photoresist boleh menyebabkan kawalan dimensi kritikal (CD) menjadi luar spesifikasi. Mentol pemanas litografi Canon direka untuk memastikan perilaku terma terkunci di dalam julat proses, shift demi shift.
Apa yang penting di sebalik tabir
Ia menggunakan pemancar halogen inframerah gelombang pendek (IR) dalam amplop kuarza, jadi anda mendapat pemanasan radiasi terus yang cepat dengan inersia terma yang rendah. Sepanjang zon pembakaran, keseragaman peringkat wafer kekal pada ±0.1°C, dan kebolehulangan suhu berada dalam ±0.2°C dari satu lot ke lot lain. Reka bentuk ini serasi dengan bilik bersih Kelas 1–100, dan bahan serta penghujungnya dipilih untuk mengurangkan penghasilan zarah dan pelepasan gas. Kestabilan output ditetapkan untuk kekal dalam 2% selama lebih daripada 5,000 Jam, yang membantu anda menjalankan kempen panjang tanpa perlu mengejar pergeseran penentukuran semula.
Inilah sebabnya mengapa ini penting dalam pemprosesan photoresist. Soft bake selepas spin, kemudian hard bake sebelum etsa atau develop—ketepatan suhu secara langsung menentukan penyingkiran pelarut, ketegangan filem, dan bias CD. Kawalan terma yang lebih ketat membawa kepada kurang lot kerja semula, kurang perolehan, dan tumpang tindih yang lebih boleh diramal.
Profil IR berrespons pantas memotong masa pemanasan dan penyejukan, yang meningkatkan penggunaan peralatan. Penggunaan tenaga disesuaikan dengan memadankan output spektral kepada bajet terma photoresist, jadi anda tidak membazirkan haba berlebihan yang boleh menekan chuck dan modul sekeliling. Dan kebolehpercayaan direka untuk operasi 24/7, yang bermaksud kurang kejutan dan beban penyelenggaraan yang minimum.
Beberapa realiti di lapangan
Pemasangan mesti mengikuti spesifikasi penyambung dan penjajaran OEM—penamatan yang tidak sepadan boleh mewujudkan titik panas dan memendekkan hayat lampu. Mentol ini dioptimumkan untuk platform litografi Canon, dan anda memerlukan pemantul sepadan serta pengurusan terma yang betul untuk mengekalkan keseragaman ±0.1°C itu.
Sebelum menukar, sahkan geometri ruang pembakaran dan toleransi bekalan kuasa. Kemudian pastikan proses tidak tersasar dengan menjadualkan pemeriksaan intensiti inframerah secara berkala—mengekalkan dalam pelan kawalan adalah satu-satunya cara untuk memastikan prestasi konsisten.