Memastikan Suhu yang Tepat dalam Kamber Vakum
Jika anda sedang membina fasiliti pengeluaran moden, anda pasti menyedari bahawa masalah berkaitan tenaga haba merupakan cabaran yang perlu diatasi. Apabila udara dikeluarkan dari kamber vakum, proses konveksi akan berhenti sepenuhnya. Anda hanya boleh bergantung pada radiasi untuk memanaskan bahan tersebut.
Inilah di mana sistem inframerah (IR) berperanan. Daripada melawan keadaan vakum, sistem ini bekerjasama dengan keadaan vakum tersebut, dengan menghantar tenaga secara langsung ke sasaran tanpa memerlukan perantara.
Berhenti teka-teki tentang suhu
Kita semua pernah menggunakan pemanas jenis resistif biasa. Masalahnya ialah pemanas ini berfungsi dengan perlahan. Ia memerlukan masa yang lama untuk memanaskan bahan tersebut, dan masa yang lebih lama lagi untuk menyejukkannya. Apabila kita cuba mengawal proses menggunakan PID loop, kelewatan ini akan menjadi masalah besar. Ia akan merosakkan data yang dikumpulkan, dan membuat proses pengeluaran menjadi lebih rumit.
Sistem IR pula berbeza. Ia berfungsi secara segera. Oleh kerana pemanas ini bertindak balas dalam masa nyata, kita boleh menyambungkannya terus ke PLC. Anda tidak perlu lagi bergantung pada termokopel untuk mendapatkan maklumat suhu; sebaliknya, anda boleh mengetahui profil suhu bahan tersebut dengan tepat. Ini merupakan perbezaan antara hanya meneka suhu bilik dan mengetahui dengan tepat di mana titik panas berada.
Realiti operasi dalam keadaan vakum
Menggunakan peralatan dalam keadaan vakum bukanlah sesuatu yang mudah. Pertama sekali, masalah pelepasan gas merupakan masalah yang serius. Tiada siapa yang mahu bahan kotor merosakkan proses pengeluaran yang bersih. Untuk mengelakkan hal ini, kita menggunakan kuarsa yang berkualiti tinggi serta lapisan khas pada lampu tersebut agar segala-galanya tetap bersih.
Selain itu, masalah tenaga juga perlu diambil kira. Kita ingin mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat agar proses pengeluaran dapat berjalan lancar. Namun, menggunakan tenaga yang tinggi dalam ruang vakum akan menyebabkan haba yang berlebihan. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, ia akan menyebabkan kerosakan pada komponen-komponen lain. Ia merupakan situasi yang memerlukan keseimbangan yang tepat.
Membuat sistem yang lebih efisien
Tiada siapa yang mahu sistem pemanasan yang佔 ruang yang besar di dalam bilik bersih. Dengan menggunakan inframerah gelombang pendek, kita boleh meletakkan sumber haba lebih dekat dengan sasaran. Ini bermakna kita boleh mengelakkan penggunaan struktur yang besar dan berat. Sistem ini membolehkan penggantian sistem lama yang besar dengan sistem yang lebih ringkas.
Dengan cara ini, kita dapat memproses lebih banyak wafer dalam setiap meter persegi ruang. Susunan peralatan menjadi lebih mudah, ruang yang diperlukan pun berkurangan, dan proses pengeluaran menjadi lebih lancar.