http://quartz-ir-heat.com/ms/tags/mengeringkan/ Recent content in Mengeringkan on Quartz Infrared Heating Source Hugo ms Mon, 01 Jun 2026 20:35:30 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ms/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Mon, 01 Jun 2026 20:35:30 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ms/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Modul inframerah pengeringan fotoresis"></p> <p>Di lantai pembuatan, soft bake yang terjejas walaupun setengah <a href="https://goldisgood.com">darjah</a> boleh mengganggu kawalan dimensi kritikal dan meninggalkan sisa selepas proses pembangunan. Tiada ruang untuk andaian lagi. Kami membina modul infrared pengeringan photoresist untuk menghapuskan variasi tersebut, memberikan anda perilaku terma yang berulang apabila keseragaman tahap wafer dan disiplin bilik bersih adalah piawaian yang boleh diterima sahaja.</p> <p><strong>Apa yang sebenarnya penting di bawah permukaan</strong><br> Kami menggunakan infrared gelombang pendek dengan pemancar kuarza bebas halogen, menyalurkan tenaga terus ke filem resist. Keputusan yang diperoleh adalah keseragaman tahap wafer dalam julat ±0.1°C merentasi permukaan bake, dan set suhu yang kekal stabil sepanjang tempoh soft bake dan hard bake. Modul ini ditempatkan dalam bilik bersih Kelas 1–100 tanpa meningkatkan jumlah zarah, kerana susun atur pemancar dan <a href="https://o-yate.net">laluan</a> aliran udara mengurangkan turbulens dan mencegah penyingkiran zarah. Selepas lebih 5,000 jam operasi, pergeseran intensiti kekal di bawah 5%, memastikan bajet terma untuk setiap lot kekal konsisten.</p>