http://quartz-ir-heat.com/ms/tags/pengganti/ Recent content in Pengganti on Quartz Infrared Heating Source Hugo ms Tue, 09 Jun 2026 03:49:46 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ms/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Tue, 09 Jun 2026 03:49:46 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ms/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Penggantian lampu Mattson RTP"></p> <p>Di lantai pengilangan, satu lampu yang rosak dalam alat RTP tidak hanya menghentikan sebuah bilik—ia menghentikan keseluruhan barisan. Perubahan suhu semasa proses photoresist soft bake dan hard bake menyebabkan dimensi kritikal menyimpang dari sasaran, dan pemanasan tidak sekata pada wafer menjadikan kebolehulangan tidak konsisten. Penggantian lampu Mattson RTP direka untuk mengekalkan kawalan terma tepat di dalam julat proses yang diperlukan.</p> <p>Ini yang penting di bawah permukaan.</p> <p>Modul lampu halogen kami <a href="https://o-yate.com">mengeluarkan</a> tenaga gelombang pendek untuk pemanasan dan penyejukan yang cepat, melindungi bajet terma sambil memastikan lebihan suhu terkawal. Keseragaman tahap wafer kekal dalam lingkungan ±0.1°C, supaya setiap profil soft bake dan hard bake konsisten mengikut resipi—tidak ada penyimpangan di tepi.</p>