http://quartz-ir-heat.com/ms/tags/tool/ Recent content in Tool on Quartz Infrared Heating Source Hugo ms Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ms/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ms/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Sensor suhu untuk alat wafer"></p> <p>On the fab floor, suatu perubahan suhu 0.5°C semasa proses bakar photoresist bukan sahaja menyebabkan pergeseran CD. Ia membawa risiko besar. Alat wafer beroperasi 7×24 jam, dan ketidakstabilan terma bertambah cepat, mengurangkan bajet terma serta memaksa kerja semula. Anda memerlukan sensor suhu yang mempunyai kebolehulangan sebagai spesifikasi, bukan sekadar perbincangan sahaja.</p> <p><strong>Apa yang penting, secara teknikal</strong><br> Kami membina sensor ini untuk alat wafer berdasarkan keseragaman terma peringkat wafer ±0.1°C, supaya setiap proses bakar lembut dan bakar keras mencapai profil terma yang sama, lot demi lot. Sensor ini sesuai untuk kelas bilik bersih 1–100 dan <a href="https://o-yate.com">tidak</a> menjana zarah, jadi anda tidak perlu risau tentang penurunan hasil akibat pencemaran. Ia beroperasi secara berterusan tanpa waktu henti yang tidak dirancang, dan jangka hayat servisnya cukup lama untuk memastikan penggantian dapat diramal. <a href="https://o-yate.net">Hasilnya</a> ialah tetingkap proses yang stabil dan prestasi litografi yang boleh dipercayai.</p>