Houd je Class 100 schone ruimte echt schoon
Als je siliciumwafers verhit in een Class 100 omgeving, weet je vast al hoe lastig dat kan zijn. Eén klein stofdeeltje of beetje gas kan al voldoende zijn om je hele batch te verpesten. Het is frustrerend. De meeste standaardverwarmingselementen zijn niet geschikt voor dit doel – ze breken af of veroorzaken andere problemen, waardoor je productie wordt belemmerd.
Daarom gebruiken we voor onze IR-lampen hoogpuur synthetisch kwarts.
Waarom kwarts belangrijk is
We gebruiken gefuseerd silica. Dit materiaal is enorm zuiver, waardoor er geen risico is op lekken van metalen ionen wanneer de lampen heet worden. Standaardglas of goedkope materialen kunnen de thermische belasting niet aan; ze breken dan af. Ons materiaal blijft echter stevig. Hierdoor kan het kortegolfgolven IR-licht rechtstreeks op het oppervlak van de wafel terechtkomen. Je krijgt dan de benodigde warmte, zonder dat er sprake is van contaminatie of andere problemen.
Het juiste afstand houden
De afstand tussen de lamp en de wafel is cruciaal. Is de afstand te klein? Dan ontstaan er hete punten of zelfs fysiek contact met de wafel. Is de afstand te groot? Dan neemt de warmtedichtheid af en werkt alles langzamer. We besteden veel tijd aan het kalibreren van de brandpuntsafstand, zodat de warmte gelijkmatig over de hele wafel wordt verspreid.
Kijk ook goed naar de vermogensdensiteit. Lampen met hoge vermogens leveren veel energie op. Dat is goed voor de snelheid, maar het legt ook een grote belasting op je HVAC-systeem. Als je de vermogenssterkte verhoogt om de tijd te verkorten, zorg ervoor dat je koelsystemen in staat zijn deze warmte weg te halen. Je wilt immers niet dat je gevoelige elektronica beschadigd raakt.
De technische details
We hebben deze lampen zo gemaakt dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Zodra een onderdeel vervangen moet worden, kun je snel weer verder gaan met de productie. We hebben ook de verbindingen versterkt, zodat trillingen geen stofdeeltjes kunnen veroorzaken. Maar vergeet niet: de lamp is slechts de helft van het verhaal. Controleer ook de bevestigingspunten. Als deze bedekt zijn met verf die loskomt en in de proceskamer terechtkomt, zal zelfs het zuiverste kwarts je batch niet redden. Zorg ervoor dat de bevestigingspunten geen stofdeeltjes afgeven, dan is alles in orde.