Sensor on Quartz Infrared Heating Source

Précieze IR sensor voor wafer

Wed, 22 Jul 2026 05:06:21 +0800

Stop met het laten beschadigen van uw wijfjes door de verwarmingslampen

Als u een klasse-100-reinruimte hebt, kent u dit probleem vast al. Eén klein stofdeeltje – dat u zelfs niet kunt zien – kan ervoor zorgen dat al uw wijfjes verloren gaan. Dat is frustrerend.

Het probleem is dat standaard IR-lampen vaak de oorzaak zijn. Ze geven gassen af of scheiden microscopische deeltjes af uit hun omhulsing. Hierdoor functioneren ze als kleine ‘stoffabrieken’, precies op de plekken waar dat het minst gewenst is.

Verwarmunit voor het drogen van MEMS sensorwafers

Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800

Zo krijg je je MEMS-wafers droog, zonder problemen
Het drogen van MEMS-sensoren vereist enige balansvinding. Je wilt dat het water zo snel mogelijk verdwijnt – maar als je te agressief te werk gaat, loop je risico op thermische schade of restanten die achterblijven.
De oplossing die we hebben gevonden, is het gebruik van infraroodverwarmers in combinatie met goudcoateerde reflectoren. Het klinkt ingewikkeld, maar het gaat er eigenlijk om te zorgen dat de warmte rechtstreeks op de wafer terechtkomt, in plaats van de binnenkant van de machine op te warmen.

Slim sensorenverpakking infrarood

Sat, 18 Jul 2026 04:22:21 +0800

Zorg dat de hitte op de juiste plek terechtkomt

De meeste infraroodverwarmingssystemen zijn gewoon… onhandig in gebruik. Ze verspreiden energie overal heen. Wanneer je aan het verpakken van sensoren werkt – vooral op niveau van de wafer – wil je niet dat de behuizing van de machine al die hitte opneemt. De hitte moet juist op het silicium terechtkomen. Punt uit.

Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Het is een manier om energieverspilling te voorkomen en de energie juist te richten.

Verwarmer voor de fabricage van waterstofsensor

Sat, 11 Jul 2026 09:09:25 +0800

Het behouden van een schone omgeving: de realiteit van sensortechnologieën
Bij het maken van waterstofsensoren kan één klein stofdeeltje of een beetje gas dat door een lek in het materiaal ontsnapt, al een hele batch sensoren onbruikbaar maken. Dat is frustrerend: één kleine fout en je hebt uren aan werk verloren.

Daarom denken we bij het maken van infraroodverwarmers voor dit doel niet alleen aan de temperatuur, maar ook aan de zuiverheid.

Quartz: de beste keuze
Voor onze lampen gebruiken we synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Waarom? Omdat gewoon glas of goedkope materialen vaak brokken gaan vormen of korrels afbreken wanneer ze heet worden. Niemand wil dat er microscopische deeltjes op het oppervlak van de sensor terechtkomen terwijl deze droogt. We bewerken onze buizen zodat er niets meer op het oppervlak kan blijven zitten.

Temperatuursensor voor wafergereedschap

Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800

Op de fabrieksvloer is een drift van 0,5°C tijdens het bakken van de photoresist niet slechts een CD-verschuiving. Er staat veel op het spel. Wafer-gereedschappen draaien 7×24 en thermische instabiliteit stapelt zich snel op, waardoor het thermische budget wordt opgegeten en herwerken noodzakelijk wordt. U heeft een temperatuursensor nodig waarbij herhaalbaarheid een specificatie is, geen gespreksonderwerp.
Wat technisch belangrijk is
We hebben deze sensor voor wafer-gereedschappen gebouwd rond een thermische uniformiteit op wafer-niveau van ±0,1°C, zodat elke soft bake en hard bake hetzelfde thermische profiel heeft, lot na lot. Het past in cleanroomklassen 1–100 en genereert geen deeltjes, zodat u geen opbrengstverliezen hoeft na te jagen door verontreiniging. Het draait continu zonder ongeplande stilstand, en de levensduur is lang genoeg dat vervangingen voorspelbaar blijven. De opbrengst is een stabiel procesvenster en lithografische prestaties waarop u kunt rekenen.
Waarom het in de praktijk blijft hangen
Bij de verwerking van photoresist is de bakt temperatuur wat de oplosmiddelverwijdering en de polymeren crosslinking regelt. Strakkere controle geeft u een strakkere CD-distributie en minder uitschieters. Met deze sensor verloopt de receptiekwalificatie sneller, dalen de herkwalificaties na onderhoud, en blijft het thermisch gedrag consistent over gereedschappen. Het energieverbruik daalt omdat de regelkring geen drift hoeft te achtervolgen, en het onderhoud blijft op schema in plaats van reactief te worden.
Waar u voor moet plannen
Installatietoleranties zijn nauw: stel de sensor af op de gespecificeerde thermische massa en positie om ±0,1°C uniformiteit te bereiken. Reserveer tijd voor volledige gereedschapintegratie—meestal een korte kwalificatierun—om de controlelimieten vast te leggen en de cleanroom-deeltjesprestaties te verifiëren. Eenmaal gekalibreerd, houdt u het draaiende. Stoppen en opnieuw starten introduceert transiënt gedrag dat echte procesdrift kan verdoezelen.