CVD verwarmer (Chemical Vapor Deposition)

Sun, 28 Jun 2026 05:59:48 +0800

Op de productielijn heeft een temperatuurschommeling van 0,5°C in de kamer een grote invloed op de kwaliteit van het eindproduct. We hebben deze CVD-verwarmer ontworpen om rekening te houden met het feit dat elke productiecyclus afhangt van nauwkeurigheden op het niveau van enkele angsten en graden.

Wat technisch gezien belangrijk is:
De verwarmer combineert kortegolflengte-infraroodverwarming met een element dat is beschermd door kwarts. Hierdoor blijft de temperatuur op het niveau van de wafer binnen ±0,1°C. De temperatuur bereikt zijn stabiele waarde binnen 10 seconden, en de herhaalbaarheid blijft binnen ±0,2°C, zelfs na duizenden cycli.

Stoom on Quartz Infrared Heating Source

CVD verwarmer (Chemical Vapor Deposition)