Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
Se você está aquecendo waferes de silício em um ambiente de classe 100, certamente sabe o quanto isso pode ser problemático. Um único grão de poeira ou um pouco de gás liberado já é suficiente para estragar todo o lote de produtos. É frustrante. A maioria dos elementos de aquecimento comuns não é adequada para esse fim – eles se desfazem com o calor, danificando assim os produtos produzidos.
É por isso que usamos quartzo sintético de alta pureza em nossas lâmpadas de IR.
Por que o quartzo é importante
Utilizamos sílica fundida. Ela é extremamente pura, o que significa que não há risco de íons metálicos vazarem quando o material é aquecido. O vidro comum ou materiais baratos não conseguem resistir ao estresse térmico; eles se quebram. Nosso material, por outro lado, permanece sólido, permitindo que a radiação de ondas curtas atinja diretamente a superfície do wafer. Assim, você obtém o calor necessário, sem contaminação ou problemas.
Ajustando a distância correta
A distância entre a lâmpada e o wafer é um fator importante. Se for muito próxima, podem surgir pontos quentes, ou pior ainda, contato físico entre a lâmpada e o wafer. Se for muito longe, a densidade de calor diminui, e tudo fica mais lento. Gastamos muito tempo calibrando a distância focal para que o calor se distribua uniformemente pelo wafer inteiro.
Mas lembre-se: monitore a densidade de potência da lâmpada. Lâmpadas de alta potência geram muita energia. Isso é bom para aumentar a velocidade, mas também sobrecarrega o sistema de refrigeração. Se você aumentar a potência para encurtar os ciclos de produção, certifique-se de que o sistema de refrigeração consiga dissipar todo esse calor. Você não quer que seus equipamentos sensíveis sejam danificados pelo calor.
Detalhes importantes na instalação
Fizemos com que essas lâmpadas fossem fáceis de substituir. Quando uma peça precisa ser trocada, você quer voltar a operar rapidamente. Também reforçamos as conexões para evitar vibrações que possam causar a liberação de partículas. Mas lembre-se: a lâmpada é apenas metade da solução. Verifique também os suportes de fixação da lâmpada. Se eles forem feitos de materiais que liberam pintura na câmara de processo, nem mesmo o quartzo mais puro poderá salvar seu lote de produtos. Mantenha os suportes longe de materiais que possam liberar partículas, e tudo ficará bem.