Módulo infravermelho para secagem de fotorresiste

Mon, 01 Jun 2026 20:35:30 +0800

No chão de fábrica, um soft bake que varia meio grau pode comprometer o controle crítico de dimensões e deixar resíduos após o desenvolvimento. Não há mais espaço para suposições. Desenvolvemos o módulo infravermelho para secagem de fotorresiste para eliminar essa variabilidade, proporcionando comportamento térmico repetível quando a uniformidade a nível de wafer e a disciplina da sala limpa são os únicos padrões aceitáveis.
O que realmente importa no funcionamento interno
Operamos com infravermelho de onda curta usando emissores de quartzo sem halogêneos, aplicando energia diretamente no filme do resist. O resultado é uniformidade a nível de wafer dentro de ±0,1°C em toda a superfície de bake, e pontos de ajuste de temperatura que permanecem estáveis durante toda a janela de soft bake e hard bake. O módulo opera em salas limpas Classe 1–100 sem aumento na contagem de partículas, pois o layout dos emissores e o caminho do fluxo de ar minimizam a turbulência e evitam desprendimento de partículas. Após mais de 5.000 horas, a deriva de intensidade permanece abaixo de 5%, garantindo consistência no orçamento térmico de cada lote.
Por que ele se mantém estável na litografia
Na linha de litografia, o módulo reduz o tempo de bake enquanto melhora a distribuição de CD e reduz defeitos causados por solventes residuais. Isso resulta em controle de processo mais rigoroso, menos lotes de retrabalho e uma linha de visão para as especificações que se mantém estável. O consumo de energia diminui porque o infravermelho aquece diretamente o resist, e não as paredes da câmara. A confiabilidade é projetada para operação 24/7, com janelas de manutenção previsíveis e sem o tempo de inatividade associado à instabilidade por ciclos térmicos.
O que você precisa planejar
O módulo é instalado em tracks de coat/bake existentes via interfaces mecânicas e elétricas padrão, mas o espaço compacto exige planejamento prévio do fluxo de ar e do direcionamento do exaustor. A comissionamento é rápido — será necessário ajustar potência da lâmpada, tempo de permanência e o loop de realimentação da temperatura para adequar à sua pilha de resist. Uma vez ajustado, a janela do processo se estreita e a assinatura térmica torna-se confiável, lote após lote.

Módulo on Quartz Infrared Heating Source

Módulo infravermelho para secagem de fotorresiste